技術(shù)編號(hào)：7830890
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。專利摘要本實(shí)用新型公開了一種MEMS麥克風(fēng)，包括基底，所述基底設(shè)置有貫穿所述基底的聲腔；第一絕緣層，所述第一絕緣層設(shè)置在所述基底正面，且位于所述聲腔四周；背極，所述背極設(shè)置在所述第一絕緣層表面，且覆蓋與所述聲腔相對的區(qū)域；第二絕緣層，所述第二絕緣層設(shè)置在所述背極與所述第一絕緣層相對區(qū)域的表面；振膜，所述振膜設(shè)置在所述第二絕緣層，且覆蓋所述背極與所述聲腔相對的區(qū)域，所述振膜與所述背極不接觸；所述振膜包括加強(qiáng)筋區(qū)域以及包圍所述加強(qiáng)筋區(qū)域的紋膜區(qū)域；所述加強(qiáng)筋區(qū)域設(shè)置與所述聲腔徑向平行的加強(qiáng)筋；所述紋膜區(qū)域設(shè)置有多個(gè)間隔...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。