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一種多晶爐的制作方法技術資料下載

技術編號:8158072

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技術領域本實用新型涉及多晶生產(chǎn)領域。具體為ー種多晶爐。背景技術目前硅片被廣泛應用于很多領域,如太陽電池片主要是晶體硅太陽能電池,晶體硅電池分為單晶硅電池和多晶硅電池,其采用的基體材料分別為單晶硅片和多晶硅片。單晶硅片和多晶硅片通過切割單晶和多晶硅晶體得到。生產(chǎn)多晶硅晶體的設備主要為多晶爐,通過多晶爐對多晶進行定向凝固得到多晶硅晶體。多晶爐的結(jié)構如圖I所示,包括頂部保溫板I及側(cè)部保溫板2,頂部保溫板I的內(nèi)壁設有頂部加熱器3,側(cè)部保溫板2的內(nèi)壁設有側(cè)部加熱器4,以產(chǎn)生熱場,熱場提供熱量及溫度梯度。熱場中設有石墨坩堝5,...
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