技術(shù)編號(hào)：8512120
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。涂布技術(shù)就是在器件制作過程中在待加工基板表面涂覆一層光刻膠，然后通過后續(xù)曝光、顯影、蝕刻、脫膜等工序制作出需求的電極或絕緣層圖形。在平板顯示和半導(dǎo)體制造行業(yè)，涂布技術(shù)是非常關(guān)鍵的工藝技術(shù)，其按設(shè)備使用方式的不同分類為旋轉(zhuǎn)涂布、線狀涂布和滾動(dòng)涂布等，其中線狀涂布方式被廣泛應(yīng)用于平板顯示行業(yè)，其主要特點(diǎn)在于涂布精度高，平坦度好，節(jié)拍快，產(chǎn)能高。在制造型企業(yè)中，制造成本是關(guān)系到企業(yè)能否立足于市場的核心競爭力，而在線狀涂布方式制程中，其原材料光刻膠通常是從國外進(jìn)口...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。