專利名稱：光纖母材制造裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種使由燃燒器生成的玻璃微粒堆積、形成基棒(soot)的光纖母材制造裝置。
背景技術(shù)：
作為光纖母材的基棒，主要用VAD法制造。VAD法是一種這樣的方法，先使空氣沿水平方向從反應(yīng)室內(nèi)的一側(cè)向另一側(cè)流動，由配置在一側(cè)的燃燒器生成含有玻璃微粒的火焰，再通過將該火焰吹至初始棒處而使玻璃微粒堆積，并一邊使該初始棒旋轉(zhuǎn)一邊提升，得到由芯層及包層構(gòu)成的雙層圓柱結(jié)構(gòu)的基棒。從而，在該VCD法中，由于玻璃微粒的每單位時間的堆積量影響到基棒的直徑，故穩(wěn)定地將含有玻璃微粒的火焰吹到初始棒上、對得到高品質(zhì)的基棒是重要的。
因此，以前，如特開平11-343135號公報所公開的，通過將由過濾器構(gòu)成的整流板直立設(shè)在反應(yīng)室的一側(cè)的整個面上而形成空氣收容室，當(dāng)在該空氣收容室內(nèi)收容呈亂流狀態(tài)吹入的空氣后，由整流板對空氣進行整流并供給至反應(yīng)室，以此實現(xiàn)空氣流中的火焰的穩(wěn)定化。
另外，在特開2000-290035號公報中公開了一種在反應(yīng)室的一側(cè)相對空氣流垂直地直立設(shè)置氣流整流板，通過由該氣流整流板使空氣不流入火焰周邊區(qū)域來實現(xiàn)火焰的穩(wěn)定化的結(jié)構(gòu)。并且，在實開平1-108504號縮微膠片中，也公開了一種通過將空氣供給口配置在燃燒器的上方、并在燃燒器的上方配置擋板、進一步防止空氣流入火焰周邊，來實現(xiàn)火焰的穩(wěn)定化的結(jié)構(gòu)。
但是，在上述特開平11-343135號公報所述的構(gòu)成中，由于整流板到燃燒器前端的火焰的距離大，故按以下的理由，具有不能充分使火焰穩(wěn)定化的問題。
一般地，若從燃燒器噴出含有玻璃微粒的火焰，則在反應(yīng)室內(nèi)以整流狀態(tài)沿水平方向流動的空氣，在通過上述火焰附近時由該火焰加熱產(chǎn)生熱膨脹而上升。從而，如上述特開平11-343135號公報所記載的裝置那樣，由于若整流板到燃燒器前端的火焰的距離大，則被加熱的空氣就會無阻礙地上升，故經(jīng)過一定時間，空氣的上升流相對水平方向的流動變得比較大，并且空氣的整流狀態(tài)大幅度地被破壞。隨著這樣的空氣的混亂，燃燒器的火焰一邊上升一邊大幅度地紊亂成為不穩(wěn)定的狀態(tài)。
由此，在上述特開平11-343135號公報所記載的裝置中，火焰所含有的玻璃微粒的密度會降低及不穩(wěn)定化，據(jù)此，會發(fā)生由玻璃微粒的堆積形成的基棒的直徑易于不穩(wěn)定的問題。并且，通過空氣的上升流而很多玻璃微粒附著在反應(yīng)室內(nèi)的上面壁上，其結(jié)果，還具有從上面壁脫落玻璃微粒成為雜質(zhì)易附著在基棒中的問題。
另外，在特開2000-290035號公報或?qū)嶉_平1-108504號縮微膠片中所記載的構(gòu)成中，由于不向燃燒器供給空氣，故具有燃燒器的外壁易過熱、尤其在由較大的火焰形成基棒時會縮短燃燒器壽命的問題。

發(fā)明內(nèi)容
在此，本發(fā)明考慮上述問題點，其目的在于提供一種通過向燃燒器吹空氣來確保其長壽命，并且抑制由燃燒器的火焰產(chǎn)生的空氣的上升流、使火焰穩(wěn)定的同時防止玻璃微粒附著到上面壁上，而以高生產(chǎn)性穩(wěn)定地形成理想直徑的基棒的光纖母材制造裝置。
本發(fā)明是一種使玻璃微粒堆積而形成由芯層及包導(dǎo)構(gòu)成的雙層圓柱結(jié)構(gòu)的基棒的光纖母材制造裝置，包括具有形成上述基棒的反應(yīng)室、并使氣體從該反應(yīng)室的一側(cè)向另一側(cè)沿水平方向流動的反應(yīng)容器，和通過從上述反應(yīng)室的一側(cè)向芯層形成區(qū)域噴出含有上述玻璃微粒的火焰而形成上述芯層的芯層用燃燒器，和通過從上述反應(yīng)室的一側(cè)向包層形成區(qū)域噴出含有上述玻璃微粒的火焰而在上述芯層的周圍形成上述包層的包層用燃燒器，和使上述基棒的前端部與棒體部分別位于上述芯層形成區(qū)域及上述包層形成區(qū)域而一邊使上述基棒旋轉(zhuǎn)一邊提升的提升機構(gòu)；在上述反應(yīng)室內(nèi)的上述包層用燃燒器的配置位置的上方、配置有抑制在該反應(yīng)室內(nèi)流動氣體的上升的擋板。
根據(jù)上述構(gòu)成，通過配置在包層用燃燒器的配置位置的上方的擋板、抑制反應(yīng)室內(nèi)的氣體的上升，而抑制由這些氣體的上升產(chǎn)生的燃燒器的火焰的上升或紊亂，其結(jié)果，能夠以高生產(chǎn)率穩(wěn)定地形成具有理想直徑的基棒。并且，由于若抑制氣體的上升流，則可減少玻璃微粒對上面壁的附著量，故難產(chǎn)生從上面壁脫落玻璃微粒作為雜質(zhì)附著在基棒上的情形。另外，通過至少向熱量大的包層用燃燒器吹氣體進行冷卻，可實現(xiàn)包層用燃燒器的長壽命化。
此外，本發(fā)明的導(dǎo)入反應(yīng)室的氣體，最好是可通過過濾器或格子的氣體，而在該過濾器上適合利用紙過濾器。
另外，上述擋板最好朝向水平方向配置。根據(jù)該構(gòu)成，更加可靠地維持氣體在從基棒觀察的氣體流的上游側(cè)、下游側(cè)的至少一處的水平方向的流動，其結(jié)果，更加有效地抑制上述火焰的上升或紊亂。
另外，本發(fā)明是一種使玻璃微粒堆積而形成由芯層及包層構(gòu)成的雙層圓柱結(jié)構(gòu)的基棒的光纖母材制造裝置，包括具有形成上述基棒的反應(yīng)室、并使氣體從該反應(yīng)室內(nèi)的一側(cè)向另一側(cè)沿水平方向流動的反應(yīng)容器，和通過從上述氣體的上游側(cè)向芯層形成區(qū)域噴出含有上述玻璃微粒的火焰而形成上述芯層的芯層用燃燒器，和通過從上述氣體的上游側(cè)向包層形成區(qū)域噴出含有上述玻璃微粒的火焰而在上述芯層的周圍形成上述包層的包層用燃燒器，和使上述基棒的前端部及棒體部分別位于上述芯層形成區(qū)域及上述包層形成區(qū)域、而一邊使上述基棒旋轉(zhuǎn)一邊提升的提升機構(gòu)，和使在上述反應(yīng)室的上面壁附近流動的氣體以與在其他部分流動的氣體相比較高的速度進行流動的氣體送出機構(gòu)。
根據(jù)該構(gòu)成，由于通過氣體送出機構(gòu)的作用，使在反應(yīng)室的上面壁附近流動的氣體以高速流動，故芯層用燃燒器及包層用燃燒器的火焰中所含有的玻璃微粒中不附著在基棒上而上升的玻璃微粒、可在附著在反應(yīng)室的上面壁之前由上述高速的氣體流將這些玻璃微粒吹到下游側(cè)。這樣可降低附著在反應(yīng)室內(nèi)的上面壁上的玻璃微粒的量，其結(jié)果能夠抑制這些玻璃微粒從上面壁脫離而作為雜質(zhì)附著在基棒中的現(xiàn)象。
另外，本發(fā)明是一種使玻璃微粒堆積而形成由芯層及包層構(gòu)成的雙層圓柱結(jié)構(gòu)的基棒的光纖母材制造裝置，包括具有形成上述基棒的反應(yīng)室、并使氣體從上述反應(yīng)室內(nèi)的一側(cè)向另一側(cè)沿水平方向流動的反應(yīng)容器，和通過從上述氣體的上游側(cè)向芯層形成區(qū)域噴出含有上述玻璃微粒的火焰而形成上述芯層的芯層用燃燒器，和通過從上述氣體的上游側(cè)向包層形成區(qū)域噴出含有上述玻璃微粒的火焰而在上述芯層的周圍形成上述包層的包層用燃燒器，和使上述基棒的前端部及棒體部分別位于上述芯層形成區(qū)域及上述包層形成區(qū)域、而一邊使上述基棒旋轉(zhuǎn)一邊提升的提升機構(gòu)，和為了沿水平方向維持上述反應(yīng)室內(nèi)的氣體的流動方向、而水平配置在上述反應(yīng)室內(nèi)的擋板，和使在上述反應(yīng)室的上面壁附近流動的氣體以與在其他部分流動的氣體相比較高的速度進行流動的氣體送出機構(gòu)；上述反應(yīng)室被劃分為收容包層用燃燒器的包層形成空間部、和收容芯層用燃燒器的芯層形成空間部。
根據(jù)上述構(gòu)成，由于在從基棒觀察的氣體流的上游側(cè)、由擋板抑制引起火焰的上升與紊亂的氣體的上升，故可以高生產(chǎn)率穩(wěn)定形成所需直徑的基棒。另外，通過由氣體送出機構(gòu)使在反應(yīng)室的上面壁附近流動的氣體以高速流動、使芯層用燃燒器及包層用燃燒器的火焰所含有的玻璃微粒不附著在基棒上而上升時，可在附著到反應(yīng)室的上面壁上之前由高速的氣體流吹向下游側(cè)。據(jù)此，可減少很多的玻璃微粒附著在反應(yīng)室內(nèi)的上面壁的量，其結(jié)果能夠不易產(chǎn)生從上面壁脫落玻璃微粒而作為雜質(zhì)附著在基棒上的現(xiàn)象。
并且，由于反應(yīng)室被劃分為包層形成空間部與芯層形成空間部，故包層形成空間部的氣體的循環(huán)流不會流向芯層用燃燒器。據(jù)此，由于減少了因循環(huán)流使芯層用燃燒器的火焰紊亂，故通過以穩(wěn)定的形成芯層的火焰可提高生產(chǎn)率。


圖1是光纖母材制造裝置的概略構(gòu)成圖。
圖2是圖1的X-X線箭頭方向的剖視圖。
圖3是光纖母材制造裝置的概略構(gòu)成圖。
圖4是圖1的Y-Y線箭頭方向截面的說明圖。
圖5是圖1的Y-Y線箭頭方向截面的說明圖。
具體實施例方式
以下，參照附圖1及圖2對本發(fā)明的光纖母材制造裝置的實施例1進行說明。
本實施例的光纖母材制造裝置，如圖1所示，具有中空狀的反應(yīng)容器1。該反應(yīng)容器1由耐酸性及耐熱性好的材料形成。此外，后述的第1擋板19、第2擋板21、第3擋板23、及第4擋板24也由相同的材料形成。
上述的反應(yīng)容器1，在內(nèi)部具有反應(yīng)室2、空氣滯留室14、排氣部35、及基棒收容室8?？諝鉁羰?4位于反應(yīng)室2的一側(cè)，排氣部35位于反應(yīng)室2的另一側(cè)，基棒收容室8位于反應(yīng)室2的上方。如后述，在上述反應(yīng)室2內(nèi)形成基棒10。該基棒10，是在芯層11的周圍形成環(huán)狀的包層12的雙層圓柱結(jié)構(gòu)，兩層11、12由玻璃微粒的堆積形成。
在上述的反應(yīng)室2中，在其下部的整個面上設(shè)有橫方向的分隔壁5，該分隔壁5，將上述反應(yīng)室2區(qū)分成上側(cè)的包層形成空間部3與下側(cè)的芯層形成空間部4。
包層形成空間部3呈長方體形狀，其一個側(cè)面(圖中為右側(cè)面)設(shè)置開口作為空氣供給口3a，另一側(cè)面(圖中為左側(cè)面)設(shè)置開口作為空氣排出 3b。在上述空氣供給 3a的整個面上設(shè)有過濾器13，由該過濾器13與上述反應(yīng)容器1的隔壁形成上述空氣滯留室14。
在該空氣滯留室14內(nèi)，由第1擋板19區(qū)分成反應(yīng)容器1的上面壁1a側(cè)的第1空氣滯留部15和位于該第1空氣滯留部15的下方的第2滯留部16。在第1空氣滯留部15內(nèi)連接著第1鼓風(fēng)機(blower)17，在第2空氣滯留部16內(nèi)連接著第2鼓風(fēng)機(blower)18。這些鼓風(fēng)機17、18，分別以一定的供氣量向各空氣滯留部15、16供給大氣中的空氣。該空氣滯留在各空氣滯留部15、16，并通過過濾器13導(dǎo)入包層形成空間部3。
在此，各鼓風(fēng)機17、18的空氣供給量，例如，按各空氣滯留部15、16的容積等進行設(shè)定，以便使包層形成空間部3的上面壁1a附近流動的空氣與其他部分流動的空氣相比以高速流動。
此外，可適當(dāng)?shù)卦O(shè)定從上述各空氣滯留部15、16(即空氣滯留室14)向反應(yīng)室2吹出空氣的方法。圖4及圖5，表示出從各空氣滯留部15、16吹出的空氣的吹出區(qū)域A1、A2的設(shè)定例。
在圖4所示的例中，盡量小地設(shè)定燃燒器6的配置區(qū)域A3，從除該燃燒器配置區(qū)域A3之外的空氣滯留部15的大致整個面吹出空氣。另一方面，在圖5所示的例中，把上述燃燒器6夾在中間，左右分開空氣吹出區(qū)域A2。即，空氣從左右2處吹出。
上述第1擋板19，以朝向水平方向從空氣滯留室14、貫通過濾器13、到包層形成空間部3內(nèi)的基棒10的存在位置的方式配置，有助于抑制包層形成空間部3內(nèi)的空氣的上升。該第1擋板19，最好以分開沿水平方向在反應(yīng)室2內(nèi)流動的氣體的方式設(shè)置。即，最好使從該第1擋板19的上下方供給氣體。這時，由于氣體在第1擋板19的上下方流動，故能夠使反應(yīng)室內(nèi)的氣體順利地沿水平方向移動。
在上述第1擋板19的前端部，也如圖2所示，形成包圍基棒10的局部棒體部的形狀(在圖中為圓弧狀)的缺口部19a。通過形成該缺口19a，可縮小基棒10的棒體部與第1擋板19的端面的間隙，以抑制因空氣從該間隙漏出而產(chǎn)生的該空氣的上升。
在上述第1擋板19上，左右對稱地直立設(shè)有一對風(fēng)向板20。這些風(fēng)向板20，被配置在上述第1擋板19與包層形成空間部3的上面壁3a之間。這些風(fēng)向板20，如圖2所示，該風(fēng)向板20的后端部(過濾器13側(cè)的端部)分別連接到過濾器13的寬度方向的外側(cè)端部，該風(fēng)向板20的前端部(基棒10側(cè)的端部)以位于上述后端部的寬度方向內(nèi)側(cè)的方式配置。根據(jù)這樣的配置，兩風(fēng)向板20，將從第1空氣滯留部15向包層形成空間部3供給的空氣的流動方向、從包層形成空間部3的寬度方向外側(cè)變?yōu)橄蚧?0的位置內(nèi)側(cè)。這樣，通過沿水平方向流動的空氣向上述基棒10側(cè)流動，而使得即使從第1空氣滯留部15流出的空氣的供給量少，也能充分增加空氣向該基棒10的流速及流量。
另一方面，如圖1所示，在包層形成空間部3內(nèi)的第1擋板19的下方，以規(guī)定的間隔隔開設(shè)有第2擋板21。第2擋板21，從過濾器13向基棒10的形成位置朝向水平方向配置。
該第2擋板21，與上述第1擋板19相同，至少在從基棒10觀察，在空氣流的上游側(cè)，可抑制包層形成空間部3內(nèi)的空氣的上升，這種空氣的上升會引起后述的包層用燃燒器6的火焰30的上升與紊亂。并且，在該第2擋板21的前端部，形成具有包圍基棒10的局部棒體部的形狀的缺口部21a。通過形成該缺口部21a，可縮小上述的基棒10的棒體部與第2擋板21的間隙，以抑制空氣從該間隙漏出而上升。
這樣，通過在包層形成空間部3內(nèi)配置多極第2擋板21與第1擋板19，可進一步抑制空氣的上升。
在上述第2擋板21的下方，設(shè)有包層用燃燒器6。該包層用燃燒器6，以從包層形成空間部3的一側(cè)、向包層形成區(qū)域A噴出火焰的方式配置。即，包層用燃燒器6的前端側(cè)的燃燒口6a與包層形成區(qū)域A中的基棒10的棒體部相對向配置。在此，所謂包層形成區(qū)域A，是處在使火焰30中的玻璃微粒堆積、有效地形成包層12的最佳的高度方向及水平方向的位置的區(qū)域。
另外，該包層用燃燒器6，為了使其火焰30的噴出方向與氣體的流動方向相一致，而向包層形成空間部3的一側(cè)沿水平方向橫向設(shè)置。具體地講，該包層用燃燒器6，貫通上述過濾器13及第2空氣滯留部16，并該燃燒器6的后端部位于機外。
此外，該包層用燃燒器6，也可以將其燃燒器口6a位于后端部上方的方式傾斜設(shè)置。
該包層用燃燒器6，是以石英的管部件作為隔壁的多層管結(jié)構(gòu)，從其中心部向外周部具有多系統(tǒng)的環(huán)狀的氣體流路。該包層用燃燒器6的后端部連接在未圖示的氣體供給裝置上。該氣體供給裝置，分別將氫氣(H2)、氧氣(O2)、氬氣(Ar)、四氯化硅氣體(SiCl4+Ar)以一定的流量供給至上述包層用燃燒器6的各氣體流路。
而且，該包層用燃燒器6的下方設(shè)有上述分隔壁5。該分隔壁5，如上述那樣，將反應(yīng)室2區(qū)分成包層形成空間部3與芯層形成空間部4，并且起著使在包層用燃燒器6的下方流動的空氣沿水平方向順利移動的擋板的作用。即，由該分隔壁5與第1擋板19和第2擋板21來維持上述包層形成空間部3內(nèi)的空氣的順暢流動。
另一方面，在包層形成空間部3的另一側(cè)(第1擋板19及第2擋板21的相反側(cè))，配置有第3擋板23與第4擋板24。
這些擋板23、24，在與設(shè)在包層形成空間部3的一側(cè)的各擋板19、21同一高度的位置、朝向水平方向設(shè)置，且與上述基棒10的棒體部隔開規(guī)定的距離。這些擋板23、24，維持從基棒10觀察的空氣流的下游側(cè)的空氣的水平方向的流動。通過多級配置這些擋板23、24，可進一步有效地維持空氣的水平方向的流動。
在位于上述包層形成空間部3的下方的芯層形成空間部4中，設(shè)有與包層用燃燒器6相同的多層管結(jié)構(gòu)的芯層用燃燒器7。即，上述分隔壁5成為位于兩燃燒器6、7之間的擋板。
上述芯層用燃燒器7，以從芯層形成空間部4的一側(cè)向芯層形成區(qū)域B噴出火焰31的方式配置。即，該芯層用燃燒器7的前端側(cè)的燃燒器口7a與芯層形成區(qū)域B中的芯層11相對向配置。這里，所謂芯層形成區(qū)域B，是處在使火焰31中的玻璃微粒堆積、有效地形成芯層11的最佳的高度方向及水平方向的位置的區(qū)域。該芯層用燃燒器7，以其后端部朝向上述燃燒器口7a下側(cè)傾斜的狀態(tài)設(shè)置，并且該后端部位于機外。
該芯層用燃燒器7，與上述包層用燃燒器6相同，從其中心部向外周部具有多系統(tǒng)的環(huán)狀的氣體流路，并連接在未圖示的氣體供給裝置上。該氣體供給裝置，分別將氫氣(H2)、氧氣(O2)、氬氣(Ar)、四氯化硅氣體(SiCl4+GeCl4+Ar)以一定的流量向上述芯層用燃燒器7的各氣體流路供給。
上述排氣部35，具有用于將上述包層形成空間部3的空氣排出到機外的排氣路36，并且其兩側(cè)端面?zhèn)认蜷_口。一個端面與上述包層形成空間部3的空氣排氣口3b相連接，另一端面的開口作為排氣口35a。
形成該排氣部35的反應(yīng)容器1的上面壁1a，與形成包層形成空間部3的反應(yīng)容器1的上面壁1a相同、朝向水平方向配置，根據(jù)這樣的配置，減少對高速流動的空氣的阻力，并且易排出反應(yīng)容器1內(nèi)的上升流。與此相對，形成排氣部35的反應(yīng)容器1的下面壁，朝向上述排氣口35a向上升的方向傾斜。即，上述排氣路36，是排氣截面積隨著從上述空氣排氣口3b向排氣口35a的方向逐漸減小的形狀。這樣，通過縮小向排氣口35a的排氣路36而提高空氣的吸引力，可有效地從包層形成空間部3排出空氣或玻璃微粒，并且能夠減少空氣的停滯。
在上述包層形成空間部3的上方，設(shè)有提升機構(gòu)38。該提升機構(gòu)38，具有提升基棒10的未圖示的提升裝置、和用于收容由提升裝置提升的基棒10的上述基棒收容室8。提升裝置，為了使基棒10的前端部及棒體部分別位于芯層形成區(qū)域B及包層形成區(qū)域A，而邊使基棒10旋轉(zhuǎn)邊提升。即，基棒10，在芯層形成區(qū)域B以一定的成長速度形成芯層11，并在包層形成區(qū)域A于芯層11的周圍形成規(guī)定厚度的包層12。
其次，對在VAD法的合成工序中使用該光纖母材制造裝置形成基棒10的步驟進行說明。
首先，將基棒10的初始棒39安裝在未圖示的提升裝置上，并將該初始棒39的下端設(shè)置在位于芯層形成空間部4的芯層形成區(qū)域B。然后，驅(qū)動第1鼓風(fēng)機17及第2鼓風(fēng)機18，分別將大氣中的空氣供給至空氣滯留室14的第1空氣15及第2空氣滯留部16。此時，將第1空氣滯留部15的空氣壓設(shè)定得比第2空氣滯留部16的空氣壓高。
送給至第1空氣滯留部15的空氣，在暫時貯留于該空氣滯留部15內(nèi)后，通過過濾器13，以比較高的速度被送至包層形成空間部3的第1擋板19與上面壁1a之間的高速區(qū)域。該空氣由第1擋板19沿水平方向引導(dǎo)而順暢地向基棒10移動，同時由兩風(fēng)向板20來變化其流動方向、向基棒10集中并進行加速。而且，送至高速區(qū)域空氣，作為非常高速的空氣流被吹到基棒10上，同時，流動到包層形成空間部3的另一側(cè)的上面壁1a的附近后，沿上面壁1a一邊沿水平方向前進，一邊經(jīng)排氣部35排出到機外。
另一方面，送至第2空氣滯留部16的空氣，在暫時貯留在該空氣滯留部16內(nèi)后，通過過濾器13，送至包層形成空間部3的第1擋板19與分隔壁5之間的低速區(qū)域。該空氣，由第1擋板19的下面、第2擋板21的上下面、及分隔壁5的上面沿水平方向引導(dǎo)，順暢地向包層形成空間部3的另一側(cè)移動。該空氣的一部分一邊被吹到包層用燃燒器6上對該燃燒器6進行冷卻一邊流入包層形成區(qū)域A，然后由包層形成空間部3的另一側(cè)的第3擋板23及第4擋板24將流動方向調(diào)整為水平方向，并通過排氣部35排出到機外。在此，通過將上述一部分空氣的吹到包層用燃燒器6上而產(chǎn)生亂流，但通過上述第1擋板19及第2擋板21的作用，將其影響抑制到最小限度。
此外，在上述的包層形成空間部3流動的空氣，因為朝向排氣口35a縮小了排氣部35的排氣路36，所以產(chǎn)生大的吸引力進行排出。從而，在高速區(qū)域及低速區(qū)域兩區(qū)域，很難產(chǎn)生空氣的滯留。
如上所述，若空氣被送至包層形成空間部3，則從未圖示的氣體供給裝置向芯層用燃燒器7供給氫氣(H2)、氧氣(O2)、氬氣(Ar)、四氯化硅氣體(SiCl4+GeCl4+Ar)。而且，芯層用燃燒器7被點火，向芯層形成區(qū)域B噴出含有玻璃微粒的火焰31。其結(jié)果，在設(shè)于芯層形成區(qū)域B的初始棒39的前端部上附著及堆積玻璃微粒。而且，通過由提升裝置使初始棒39一邊旋轉(zhuǎn)一邊以一定速度提升，而形成規(guī)定直徑(層厚)的基棒10的芯層11，并且該芯層11以該芯層11的前端位于芯層形成區(qū)域B的方式、沿初始棒39的軸方向成長。
如上所述，在形成芯層11時，芯層用燃燒器7的燃燒口7a被收容在芯層形成空間部4內(nèi)，在該芯層形成空間部4內(nèi)阻斷空氣的流動。從而，防止了由空氣流大幅度地吹亂芯層用燃燒器7的火焰31的情況，穩(wěn)定形成芯層11。此外，因為芯層用燃燒器7，其火焰31的熱量被設(shè)定為比較少量，所以即使不進行基于吹空氣的冷卻，也不會產(chǎn)生由火焰31造成過熱而溶解芯層用燃燒器7的不良現(xiàn)象。
如上所述，在芯層形成區(qū)域B形成芯層11后，經(jīng)過規(guī)定時間，從未圖示的氣體供給裝置向包層用燃燒器6供給氫氣(H2)、氧氣(O2)、氬氣(Ar)、四氯化硅氣體(SiCl4+Ar)。而且，包層用燃燒器6被點火，向包層形成區(qū)域A噴出含有玻璃微粒的火焰30。其結(jié)果，在上述芯層11的周圍附著及堆積玻璃微粒，形成規(guī)定直徑(層厚)的基棒10的包層12。這樣通過一邊分別由包層用燃燒器6及芯層用燃燒器7的火焰30、31使玻璃微粒堆積一邊進行提升，而形成由芯層11及包層12構(gòu)成的雙層圓柱結(jié)構(gòu)的基棒10并被收容到基棒收容室8內(nèi)。
但是，若向包層形成區(qū)域A噴出包層用燃燒器6的火焰30，則在反應(yīng)室2的包層形成空間部3內(nèi)沿水平方向流動的空氣、會在通過包層形成區(qū)域A附近時被火焰30加熱形成熱膨脹而上升。但是，在該空氣的上升方向上，由于在從基棒10觀察的上游側(cè)的位置設(shè)有由第1擋板19及第2擋板21構(gòu)成的2級擋板，并且，在從基棒10觀察的下游一側(cè)設(shè)有由第3擋板23及第4擋板24構(gòu)成的2級擋板，故上述空氣碰到上述各擋板19、21、23、24上，這樣來抑制這些空氣的上升。
并且，通過在上游側(cè)的第1擋板19及第2擋板21上分別形成缺口部19a、21a，并且這些缺口部19a、21a以包圍基棒10的局部棒體部的方式配置，從而減小了這些擋板19、21與基棒10的間隙，因此在該上游側(cè)可進一步抑制空氣的上升。
如上所述，通過由第1～第4擋板19、21、23、24及缺口部19a、21a來抑制空氣的上升，而防止空氣大幅度地混亂。據(jù)此，由于可抑制由空氣的上升流產(chǎn)生的包層用燃燒器6的火焰30的上升及紊亂，故形成由高密度穩(wěn)定的玻璃微粒構(gòu)成的包層12。另外，由于若抑制上述火焰30的上升，則會有更多的火焰30達到基棒10，故易于火焰30圍繞在基棒10的整個棒體部，這樣可促進包層12的形成。
另外，雖然在基棒10上沒有使用的玻璃微粒隨空氣的上升流而上升，但如上述那樣抑制該空氣的上升流，其結(jié)果可減少上述玻璃微粒到達包層形成空間部3的上面壁1a的量。另外，下游側(cè)的第3擋板23及第4擋板24也可防止玻璃微粒的上升。并且，由于即使上述玻璃微粒到達上面壁1a附近的區(qū)域，也可通過存在于該區(qū)域的高速空氣流而排出大部分的上述玻璃微粒，故附著在上面壁1a上的玻璃微粒為極少量而難以脫落。另外，由于即使是附著在上面壁1a上的玻璃微粒有脫落的情況，這些玻璃微粒也可由高速的空氣流排出，故極難產(chǎn)生在基棒10上附著雜質(zhì)的情形。
此外，也有玻璃微粒附著在下游側(cè)的第3擋板23或第4擋板24上、并從這些第3擋板23、24上脫落的情況，但兩擋板23、24與基棒10相分離，且從該基棒10脫落的玻璃微粒由上述的高速氣流移送到與基棒10的相反一側(cè)，因此這些玻璃微粒幾乎不會附著在基棒10上。
這樣，當(dāng)在合成工序中形成了規(guī)定長度的基棒10時，則將該基棒10取出到機外，并移至燒結(jié)工序。而且，通過燒結(jié)玻璃微粒進行玻璃化而形成預(yù)制棒。此外，在預(yù)制棒的直徑較小時，通過反復(fù)進行在合成工序形成新的包層12和燒結(jié)工序的玻璃化、而形成理想的預(yù)制棒。從而，在反復(fù)進行合成工序的情況下，如果利用本實施例的光纖母材制造裝置，則可生產(chǎn)高品質(zhì)的基棒10，并且能夠具有高生產(chǎn)率。然后，在拉制工序，通過拉伸預(yù)制棒，而得到理想的長度與直徑的預(yù)制棒，再在拉絲工序形成為光纖。
如上所述，本實施例的光纖母材制造裝置，使玻璃微粒堆積形成由芯層11及包層12構(gòu)成的雙層圓柱結(jié)構(gòu)的基棒10，并設(shè)有具備形成基棒10的反應(yīng)室2(包層形成空間部3)、且使空氣(氣體)沿水平方向從反應(yīng)室2內(nèi)的一側(cè)向另一側(cè)流動的反應(yīng)容器1，和通過從空氣的上游側(cè)向芯層形成區(qū)域B噴出包含玻璃微粒的火焰31、而形成芯層11的芯層用燃燒器7，和通過從空氣的上游側(cè)向包層形成區(qū)域A噴出含有玻璃微粒的火焰31、而在芯層11的周圍形成包層12的包層用燃燒器6，和為了使基棒10的前端部及棒體部分別位于芯層形成區(qū)域B及包層形成區(qū)域A、而使基棒10一邊旋轉(zhuǎn)一邊提升的提升機構(gòu)38，和為了沿水平方向維持反應(yīng)室2內(nèi)的空氣的流動方向、而水平配置在反應(yīng)室2內(nèi)的第1～第4擋板19、21、23、24。此外，被導(dǎo)入本發(fā)明的反應(yīng)室內(nèi)的氣體，最好是可通過過濾器或格子的氣體。在該過濾器上最適合利用紙濾器。
據(jù)此，通過第1～第4擋板19、21、23、24維持反應(yīng)室2內(nèi)的空氣的使流動方向成為水平方向，而可抑制空氣的上升流，并且能夠防止空氣的大幅度的亂流。其結(jié)果，由于可抑制包層用燃燒器6的火焰30的上升及紊亂，故能夠由高密度的穩(wěn)定的玻璃微粒形成包層12。另外，由于若抑制火焰30的上升，則大量的火焰30就能夠達到基棒10，故火焰易圍繞基棒10的整個棒體部，其結(jié)果，也能夠促進包層12的形成。
并且，由于若抑制空氣的上升流，則可減少對玻璃微粒向上面壁1a的附著量，故難以引起玻璃微粒從上面壁脫落而作為雜質(zhì)附著在基棒10上的情形。據(jù)此，能夠以高生產(chǎn)生率穩(wěn)定地形成理想直徑的基棒10。另外，通過對熱量大的包層用燃燒器6吹空氣而進行冷卻，能夠?qū)崿F(xiàn)包層用燃燒器6的長壽命化。
此外，雖然在本實施例中使空氣在反應(yīng)室2內(nèi)流動，但并不限定于此，例如也可以使惰性氣體在其內(nèi)流動。
另外，雖然在本實施例中由包層用燃燒器6與芯層燃燒器7的2個燃燒器形成基棒10，但也可由3個燃燒器形成基棒10。
另外，雖然在本實施例中由第1～第4擋板19、21、23、24抑制空氣的上升，但并不局限于此，也可為任意的一個以上的組合。
例如，在反應(yīng)室2的一側(cè)也可僅設(shè)置配置于包層用燃燒器6的配置位置的上方的第1擋板19及第2擋板21中的任意一個。這時也由于第1擋板19或第2擋板21被配置在包層用燃燒器6的上方，故可維持從基棒10觀察的空氣流的上游側(cè)的空氣的水平方向的流動。其結(jié)果，至少可在從基棒10觀察的空氣流的上游側(cè)抑制導(dǎo)致火焰30、31的上升與紊亂的空氣的上升。但是，只要如本實施例那樣，是2級的結(jié)構(gòu)，就可進一步抑制上述的空氣的上升。
另外，在反應(yīng)室2的另一側(cè)也可僅設(shè)置配置于包層用燃燒器6的配置位置的上方的第3擋板23及第4擋板24中的任意一個。這時也由于第3擋板23或第4擋板24被配置在于反應(yīng)室2的另一側(cè)的包層用燃燒器6的上方，故可維持從基棒10觀察的空氣流的下游側(cè)的空氣的水平方向的流動。其結(jié)果，通過至少可在從基棒10觀察的空氣流的下游側(cè)抑制導(dǎo)致火焰30、31的上升與紊亂的空氣的上升，能夠以高生產(chǎn)率而穩(wěn)定地形成理想直徑的基棒10。但是，只要如本實施例那樣，是2級的結(jié)構(gòu)，就可進一步抑制上述的空氣的上升。
即，本發(fā)明并不僅限于在上游側(cè)及下游側(cè)分別各配置2級第1～第4擋板19、21、23、24。
另外，雖然在圖例中、形成在上游側(cè)的第1擋板19及第2擋板21的缺口部19a、21a包圍基棒10的局部棒體部配置，但并不局限于此。例如，也可在所有的擋板19、21、23、24上形成缺口部，或者也可只在其中的一部分的擋板上形成缺口部。
此外，上述第1～第4擋板19、21、23、24，最好以沿垂直方向分割流入反應(yīng)室2內(nèi)的氣體的方式設(shè)置，根據(jù)這樣的配置，可使氣體穿過第1～第4板19、21、23、24的上下方流動來通過反應(yīng)室2，故能夠保證氣體在反應(yīng)室2的水平方向順暢流動。
另外，本實施例的光纖母材制造裝置，具有包括第1空氣滯留部15及第1鼓風(fēng)機17的氣體送出機構(gòu)，由于該氣體送出機構(gòu)使在反應(yīng)室2的上面壁1a附近流動的空氣與在其他部分流動的空氣相比能以高速流動，故即使包含在芯層用燃燒器7及包層用燃燒器6的火焰30、31中的玻璃微粒不附著在基棒10上而上升，該玻璃微粒在附著于反應(yīng)室2的上壁之前，也會由上述的高速空氣流吹到下流側(cè)。
另外，本實施例的光纖母材制造裝置，因為配置在反應(yīng)室2內(nèi)的另一側(cè)的排氣部35的排氣截面積、隨著向排氣口35a方向而逐漸縮小，所以提高了排氣部35的吸引力，可高效地排出空氣。此外，排氣部35也可具有排氣泵，由該泵強制地排出空氣。
另外，在本實施例的光纖母材制造裝置中，由于其反應(yīng)室2被分隔壁5劃分為收容包層用燃燒器6的包層形成空間部3、和收容芯層用燃燒器7的芯層形成空間部4，故即使是空氣產(chǎn)生從排氣部35側(cè)向芯層用燃燒器7方向的循環(huán)流的情況，也可防止該循環(huán)流到達芯層形成空間部4。從而，能夠減少由上述循環(huán)流產(chǎn)生的芯層用燃燒器7的火焰31的紊亂。
下面，參照圖3對本發(fā)明的光纖母材制造裝置的實施例2進行說明。此外，對與實施例1相同的部件，使用相同符號并省略其說明。
本實施例的光纖母材制造裝置，具有中空狀的反應(yīng)容器51。反應(yīng)容器51，在其內(nèi)部具有形成基棒10的反應(yīng)室2、空氣滯留室14、排氣部52、及基棒收容室8。空氣滯留室14位于反應(yīng)室2的一側(cè)，排氣部52位于反應(yīng)室2的另一側(cè)，基棒收容室8位于反應(yīng)室2的上方。上述的空氣滯留室14由設(shè)在反應(yīng)室2的整個一端面上的過濾器13與隔壁形成。另外，排氣部52，在反應(yīng)室2的相反側(cè)的端面的中央部具有排氣口35a，并其排氣路36的流路截面積具有隨著從反應(yīng)室2側(cè)向排氣口35a而縮小的形狀。反應(yīng)容器1的上面壁1a，從空氣滯留室14向反應(yīng)室2沿水平方向形成，但在排氣部52處，隨著向其排氣口35a方向而朝向下降的方向傾斜。
在上述反應(yīng)室2內(nèi)設(shè)有包層用燃燒器6與芯層用燃燒器7。在包層用燃燒器6的上方設(shè)有第1擋板19，在包層用燃燒器6的下方設(shè)有第2擋板21。第2擋板21被設(shè)在靠近包層形成區(qū)域A的高度位置。
并且，在第2擋板21與芯層用燃燒器7之間設(shè)有第5擋板53。第5擋板53被設(shè)在靠近芯層形成區(qū)域B的高度位置。
上述各擋板19、21、53均朝向水平方向配置，并分別形成有圓弧狀的缺口部19a、21a、53a。各缺口19a、21a、53a的半徑，根據(jù)與其鄰接的基棒10的直徑，以將從這些擋板19、21、53與基棒10的間隙漏出的空氣量抑制在最小限度的方式進行設(shè)定。
另一方面，在反應(yīng)室2的另一側(cè)設(shè)有第3擋板23及第4擋板24。第3擋板23被設(shè)在與上述第1擋板19的高度位置相同的高度位置，第4擋板24被設(shè)在與上述第2擋板21的高度位置相同的高度位置。這些第3擋板23及第4擋板24也形成有圓弧狀的缺口部23a、24a，并以這些缺口部23a、24a包圍基棒10的局部棒體部的方式配置擋板23、24。這些缺口部23a、24a的半徑也根據(jù)基棒10的直徑來設(shè)定。
另外，在排氣部52的排氣路36內(nèi)設(shè)有遮蔽板54。遮蔽板54從排氣路36的下面壁的中途部分向反應(yīng)室2側(cè)朝向水平方向設(shè)置，以遮擋空氣向反應(yīng)容器1的底部的芯層用燃燒器7的循環(huán)流。其他的結(jié)構(gòu)與實施例1相同。
下面，對該光纖母材制造裝置的步驟進行說明。首先，將未圖示的初始棒安裝在提升裝置上，并設(shè)置該初始棒的下端位于芯層形成區(qū)域B。然后，驅(qū)動第1鼓風(fēng)機17及第2鼓風(fēng)機18，分別將大氣中的空氣送至空氣滯留室14的第1空氣滯留部15及第2空氣滯留部16。然后，從第1空氣滯留部15將比較高的速度的空氣送至反應(yīng)室2，另一方面從第2空氣滯留部16將比較低速的空氣送至反應(yīng)室2。據(jù)此，由于高速的空氣在靠近上面壁1a附近流動，故可防止玻璃微粒附著在上面壁1a上。
另外，從第2空氣滯留部1 6送至反應(yīng)室2的空氣，由第1～第3擋板19、21、53而沿水平方向順暢地向反應(yīng)室2的另一側(cè)移動，此時，通過將這些空氣的一部分吹到包層用燃燒器6及芯層用燃燒器7上而冷卻兩燃燒器6、7。另外，一部分空氣在流入包層形成區(qū)域A及芯層形成區(qū)域B后，其流動方向一邊被配置在反應(yīng)室2的另一側(cè)的第3擋板23及第4擋板24調(diào)整為水平方向、一邊通過排氣部35排出到機外。
如上所述，當(dāng)空氣被送至包層形成空間部3時，則在規(guī)定的時刻將芯層用燃燒器7及包層用燃燒器6點火，向芯層形成區(qū)域B及包層形成區(qū)域A噴出含有玻璃微粒的火焰31、30。然后，通過一邊使玻璃微粒附著及堆積一邊進行提升，而形成規(guī)定直徑(層厚)的基棒10。
但是，當(dāng)向包層形成區(qū)域A及芯層形成區(qū)域B噴出各燃燒器6、7的火焰30、31時，在反應(yīng)室2內(nèi)沿水平方向流動的空氣，在通過各形成區(qū)域A、B附近時，被火焰30、31加熱而產(chǎn)生熱膨脹并上升。但是，在該空氣的上升方向上，由于在從基棒10觀察的上游側(cè)設(shè)有由第1、第2、第5擋板19、21、53構(gòu)成的3級擋板，并且，在從基棒10觀察的下游側(cè)設(shè)有由第3、第4擋板23、24構(gòu)成的2級擋板，故上述空氣碰到上述第1～第5擋板19、21、23、24、53上，來抑制這些空氣的上升。并且，通過在各擋板19、21、23、24、53上分別形成與基棒10的直徑相對應(yīng)的缺口部19a、21a、23a、24a、53a，而減小這些擋板與基棒10的間隙，因此在整個反應(yīng)室2內(nèi)進一步抑制了空氣的上升。
這樣通過由第1～第5擋板19、21、23、24、53及缺口部19a、21a、23a、24a、53a來抑制空氣的上升，可防止空氣的流動狀態(tài)的大幅度的破壞。另外，由于遮蔽板54防止來自排氣部52的循環(huán)流，故可抑制由該循環(huán)流、即空氣的上升流產(chǎn)生的各燃燒器6、7的火焰30、31的上升及紊亂，其結(jié)果，形成由高密度的穩(wěn)定的玻璃微粒產(chǎn)生的包層12及芯層11。其他的步驟與實施例1相同。
此外，上述的各擋板也可未必完全朝向水平方向配置，也可在有效地抑制反應(yīng)室2內(nèi)流動的空氣上升的范圍內(nèi)適當(dāng)?shù)貎A斜。
另外，以上所示的實施例的作用及效果僅是一例，本發(fā)明并不限定于此。
權(quán)利要求
1.一種光纖母材制造裝置，使玻璃微粒堆積而形成由芯層及包層構(gòu)成的雙層圓柱結(jié)構(gòu)的基棒，其特征在于，包括具有形成所述基棒的反應(yīng)室、并使氣體從該反應(yīng)室的一側(cè)向另一側(cè)沿水平方向流動的反應(yīng)容器，和通過從所述反應(yīng)室的一側(cè)向芯層形成區(qū)域噴出含有所述玻璃微粒的火焰而形成所述芯層的芯層用燃燒器，和通過從所述反應(yīng)室的一側(cè)向包層形成區(qū)域噴出含有所述玻璃微粒的火焰而在所述芯層的周圍形成所述包層的包層用燃燒器，和為了使所述基棒的前端部及棒體部分別位于所述芯層形成區(qū)域及所述包層形成區(qū)域、而一邊使所述基棒旋轉(zhuǎn)一邊提升的提升機構(gòu)；在所述反應(yīng)室內(nèi)的所述包層用燃燒器的配置位置的上方，設(shè)有抑制在該反應(yīng)室內(nèi)流動的氣體上升的擋板。
2.如權(quán)利要求1所述的光纖母材制造裝置，其特征在于所述擋板朝向水平方向配置。
3.如權(quán)利要求1所述的光纖母材制造裝置，其特征在于在所述擋板上，形成有包圍所述基棒的局部棒體部的缺口部。
4.如權(quán)利要求1所述的光纖母材制造裝置，其特征在于所述擋板，被設(shè)置在所述基棒的上游一側(cè)。
5.如權(quán)利要求4所述的光纖母材制造裝置，其特征在于所述擋板，被多級設(shè)置在所述基棒的上游一側(cè)，并至少在包層用燃燒器的上方位置、和該包層用燃燒器與所述芯層用燃燒器之間的位置分別配置1個以上。
6.如權(quán)利要求5所述的光纖母材制造裝置，其特征在于在所述各級的擋板上，形成有包圍所述基棒的局部棒體部的缺口部。
7.如權(quán)利要求6所述的光纖母材制造裝置，其特征在于所述各級的擋板的缺口部的大小被設(shè)定為與各級所處的基棒的直徑相對應(yīng)。
8.如權(quán)利要求4所述的光纖母材制造裝置，其特征在于具有將所述反應(yīng)室內(nèi)的氣體的流動方向從該反應(yīng)室的寬度方向的外側(cè)向所述基棒所處位置的內(nèi)側(cè)改變的風(fēng)向部件。
9.如權(quán)利要求1所述的光纖母材制造裝置，其特征在于所述擋板被設(shè)置在所述基棒的下游一側(cè)。
10.如權(quán)利要求9所述的光纖母材制造裝置，其特征在于所述擋板，多級設(shè)置在所述基棒的下游一側(cè)，并至少在包層用燃燒器的上方位置、和該包層用燃燒器與所述芯層用燃燒器之間的位置分別設(shè)置1個以上。
11.如權(quán)利要求10所述的光纖母材制造裝置，其特征在于在所述各級的擋板上，形成有包圍所述基棒的局部棒體部的缺口部。
12.如權(quán)利要求11所述的光纖母材制造裝置，其特征在于所述各級的擋板的缺口部的大小被設(shè)定為與各級所處的基棒的直徑相對應(yīng)。
13.如權(quán)利要求1所述的光纖母材制造裝置，其特征在于包括被設(shè)置在所述反應(yīng)室內(nèi)的另一側(cè)、使排氣流路截面積呈隨著向排氣口的方向而逐漸減小的形狀的排氣部。
14.一種光纖母材制造裝置，使玻璃微粒堆積而形成由芯層及包層構(gòu)成的雙層圓柱結(jié)構(gòu)的基棒，其特征在于，包括具有形成所述基棒的反應(yīng)室，并使氣體從該反應(yīng)室內(nèi)的一側(cè)向另一側(cè)沿水平方向流動的反應(yīng)容器，和通過從所述氣體的上游側(cè)向芯層形成區(qū)域噴出含有所述玻璃微粒的火焰而形成所述芯層的芯層用燃燒器，和通過從所述氣體的上游側(cè)向包層形成區(qū)域噴出含有所述玻璃微粒的火焰而在所述芯層的周圍形成所述包層的包層用燃燒器，和為了使所述基棒的前端部及棒體部分別位于所述芯層形成區(qū)域及所述包層形成區(qū)域、而一邊使所述基棒旋轉(zhuǎn)一邊提升的提升機構(gòu)，和使在所述反應(yīng)室的上面壁附近流動的氣體以與在其他部分流動的氣體相比較高的速度進行流動的氣體送出機構(gòu)。
15.如權(quán)利要求14所述的光纖母材制造裝置，其特征在于在從所述基棒觀察的反應(yīng)室的另一側(cè)，設(shè)有減少朝向上述芯層用燃燒器的氣體循環(huán)流的遮蔽部件。
16.如權(quán)利要求14所述的光纖母材制造裝置，其特征在于所述反應(yīng)室被劃分為收容包層用燃燒器的包層形成空間部、和收容芯層用燃燒器的芯層形成空間部。
17.如權(quán)利要求14所述的光纖母材制造裝置，其特征在于具有被設(shè)置在所述反應(yīng)室內(nèi)的另一側(cè)、排氣流路截面積呈隨著向排氣口的方向逐漸減小的形狀的排氣部。
18.一種光纖母材制造裝置，使玻璃微粒堆積而形成由芯層及包層構(gòu)成的雙層圓柱結(jié)構(gòu)的基棒，其特征在于，包括具有形成所述基棒的反應(yīng)室，并使氣體從所述反應(yīng)室內(nèi)的一側(cè)向另一側(cè)沿水平方向流動的反應(yīng)容器，和通過從所述氣體的上游側(cè)向芯層形成區(qū)域噴出含有所述玻璃微粒的火焰而形成所述芯層的芯層用燃燒器，和通過從所述氣體的上游側(cè)向包層形成區(qū)域噴出含有所述玻璃微粒的火焰而在所述芯層的周圍形成所述包層的包層用燃燒器，和為了使所述基棒的前端部及棒體部分別位于所述芯層形成區(qū)域及所述包層形成區(qū)域、而一邊使所述基棒旋轉(zhuǎn)一邊提升的提升機構(gòu)，和為了沿水平方向維持所述反應(yīng)室內(nèi)的氣體的流動方向，而水平配置在所述反應(yīng)室內(nèi)的擋板，和使在所述反應(yīng)室的上面壁附近流動的氣體以與在其他部分流動的氣體相比較高的速度進行流動的氣體送出機構(gòu)；所述反應(yīng)室被劃分為收容包層用燃燒器的包層形成空間部、和收容芯層用燃燒器的芯層形成空間部。
19.如權(quán)利要求18所述的光纖母材制造裝置，其特征在于具有被設(shè)置在所述反應(yīng)室內(nèi)的另一側(cè)、排氣流路截面積呈隨著向排氣口的方向逐漸減小的形狀的排氣部。
全文摘要
一種光纖母材制造裝置，設(shè)置有具有基棒形成用的反應(yīng)室的反應(yīng)容器，在該反應(yīng)容器內(nèi)配置有用于形成基棒的包層的包層用燃燒器，并且在該包層用燃燒器的上方位置，設(shè)有抑制在上述反應(yīng)室內(nèi)流動空氣的上升的擋板。這種光纖母材制造裝置，可抑制從燃燒器噴出的含有玻璃微粒的火焰上升，促進基棒的形成、提高生產(chǎn)率，并且可減少附著在反應(yīng)容器內(nèi)的壁面上的玻璃微粒的附著量。
文檔編號C03B37/014GK1496968SQ20031010131
公開日2004年5月19日 申請日期2003年10月14日 優(yōu)先權(quán)日2002年10月23日
發(fā)明者福谷和久, 滿田正彥, 山本岳彥, 森永次郎, 彥, 郎 申請人:株式會社神戶制鋼所, 昭和電線電纜株式會社