刀片保持具及刀片保持具收納組的制作方法【專利摘要】本發(fā)明提供一種具備適于利用機(jī)械手進(jìn)行自動(dòng)更換的功能的刀片保持具及刀片保持具收納組。一種刀片保持具(12)，其包含安裝在基板加工裝置(A)的刻劃頭(10)上的主體部(12a)、平行于主體部(12a)的軸心而形成在主體部(12a)的一端的一對(duì)平坦面(12b)、與各平坦面(12b)平行地形成在這些平坦面(12b、12b)之間的切槽(12c)、安裝在該切槽(12c)內(nèi)的輪片(12e)、及設(shè)置在一對(duì)平坦面(12b)中的任一面上的代碼(12i)，且在主體部(12a)的外周面形成著與主體部(12a)的軸心平行的滑槽(12k)。【專利說明】刀片保持具及刀片保持具收納組【
技術(shù)領(lǐng)域：
】[0001]本發(fā)明涉及一種刀片保持具及在收納體中收納著該刀片保持具的刀片保持具收納組，所述刀片保持具是使用于如下的基板加工裝置中，該基板加工裝置是通過一面將圓周脊線上形成著V字型刀尖的輪片(也稱為刀輪或刻劃輪)按壓于載置在平臺(tái)(table)上的基板的表面一面進(jìn)行刻劃，而對(duì)所述基板加工出切斷用劃線或進(jìn)行切斷(斷裂)?！?br>背景技術(shù)：
】[0002]以往，已知有利用輪片在由玻璃、硅、陶瓷、半導(dǎo)體等脆性材料構(gòu)成的基板或貼合基板(以下簡(jiǎn)稱為“基板”)的表面上形成沿著預(yù)刻劃線的劃線(切斷用的槽)或從預(yù)切斷線完全切斷的基板加工裝置(參照例如專利文獻(xiàn)1、專利文獻(xiàn)2)。[0003]圖16是表示所述專利文獻(xiàn)等中揭示的以往的基板加工裝置的一例的概略立體圖。該基板加工裝置B包含載置并保持成為加工對(duì)象的基板W的水平的平臺(tái)31。平臺(tái)31構(gòu)成為可通過內(nèi)置馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部32而在水平面內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)，且可沿著水平的軌道33在Y方向上移動(dòng)。該Y方向上的移動(dòng)是通過利用馬達(dá)34進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的螺桿軸35而進(jìn)行。[0004]基板加工裝置B中，以橫跨平臺(tái)31的方式設(shè)置著包含一對(duì)支柱36、36及以將這些支柱36、36連接的方式沿X方向水平延伸的導(dǎo)桿37的橋部38。在導(dǎo)桿37上設(shè)置著沿X方向水平延伸的導(dǎo)件39，刻劃頭40配置成可沿著導(dǎo)件39在X方向上移動(dòng)?？虅濐^40在X方向上的移動(dòng)是通過馬達(dá)41的驅(qū)動(dòng)而進(jìn)行。包含輪片42e的刀片保持具42經(jīng)由保持具接頭43可裝卸地安裝在刻劃頭40上。在刻劃頭40的內(nèi)部組裝著可實(shí)現(xiàn)保持具接頭43的升降的升降機(jī)構(gòu)。[0005]在如上文所述的構(gòu)成下，一面將輪片42e按壓于載置在平臺(tái)31上的基板W—面使輪片42e與平臺(tái)31中的一者或兩者移動(dòng)，由此，可在X-Y方向上對(duì)基板W進(jìn)行刻劃而形成刻劃槽或進(jìn)行切斷。[0006]圖17及圖18是表示以往的刀片保持具42及保持具接頭43的構(gòu)成的圖。刀片保持具42包含大致圓柱狀的主體部42a、及相對(duì)于主體部42a的軸心平行且相互對(duì)稱地形成在主體部42a的一端(下端)的一對(duì)平坦面42b、42b，此外，與該平坦面42b平行地形成的切槽42c沿著主體部42a的軸心而形成在這一對(duì)平坦面42b、42b之間。在該切槽42c內(nèi)，經(jīng)由相對(duì)于主體部42a的軸心正交的輪軸42d而旋轉(zhuǎn)自如地安裝著輪片42e。在一對(duì)平坦面42b中的一個(gè)面上標(biāo)印著代碼42i，該代碼42i記錄著安裝在該刀片保持具42上的輪片42e的直徑或種類、安裝輪片時(shí)的設(shè)定信息等管理上有用的固有數(shù)據(jù)。[0007]而且，在主體部42a的另一端(上端)設(shè)置著安裝在保持具接頭43時(shí)用于定位的安裝部42f。安裝部42f包含切削主體部42a而形成的平面部42g與傾斜面42h。平面部42g與主體部42a的軸心平行,且與位于下方的一對(duì)平坦面42b正交。而且，主體部42a是由鐵等磁性金屬構(gòu)成。[0008]保持具接頭43在上部包含軸承43a，且下部成為保持刀片保持具42的保持部43b。在保持部43b設(shè)置著朝向下方開口的剖面大致圓形的開口部43c，在其內(nèi)部深處部安裝著磁鐵43j。此外，在開口部43c的內(nèi)部，設(shè)置著在開口部的與軸心相離的部位沿與該軸心垂直的方向延伸的用于定位的平行銷43d。該平行銷43d是當(dāng)?shù)镀３志?2插入于開口部43c時(shí)，與刀片保持具42的傾斜面42h接觸而以使得刀片保持具42的方向或姿勢(shì)固定的方式進(jìn)行定位。[0009]將刀片保持具42安裝在保持具接頭43時(shí)，如圖18所示，使刀片保持具42從其安裝部42f插入保持具接頭43的開口部43c而進(jìn)行安裝。當(dāng)將安裝部42f插入于保持具接頭43的開口部43c時(shí)，平行銷43d與刀片保持具42的傾斜面42h接觸而定位，并且刀片保持具42的上端部被磁鐵43j磁性吸附而得到保持。由此，可在刀片保持具42的姿勢(shì)朝向固定方向的狀態(tài)下簡(jiǎn)單地安裝在保持具接頭43上。更換輪片42e時(shí)，抵抗磁鐵的磁力而從保持具接頭43的開口部43c拉拔刀片保持具42，與刀片保持具一并更換。新安裝的刀片保持具42是通過利用另外設(shè)置的讀取器(reader)讀取標(biāo)印在平坦面42b上的記錄著刀片固有數(shù)據(jù)的代碼42i而選擇。[0010][【
背景技術(shù)：
】文獻(xiàn)][0011][專利文獻(xiàn)][0012][專利文獻(xiàn)I]國(guó)際公開編號(hào)W02007/063979公報(bào)[0013][專利文獻(xiàn)2]日本專利特開2011-218815號(hào)公報(bào)【
發(fā)明內(nèi)容】[0014][發(fā)明所要解決的問題][0015]當(dāng)輪片移行規(guī)定的移行距離而達(dá)到更換時(shí)期時(shí)、或需要其他規(guī)格的輪片時(shí)，是在使基板加工裝置B停止之后，進(jìn)行刀片保持具的更換。具體而言，從刻劃頭的保持具接頭卸除刀片保持具之后，通過利用讀取器讀取代碼而從保管的刀片保持具中選擇所期望的刀片保持具，將該選擇的刀片保持具安裝在保持具接頭上。若如上文所述的更換操作由操作人員通過手工操作而進(jìn)行，則比較費(fèi)事，因此，利用機(jī)械手自動(dòng)地進(jìn)行較為方便。[0016]在利用機(jī)械手進(jìn)行更換操作的情況下，為了從多個(gè)刀片保持具中選擇所希望的刀片保持具，必需以容易利用讀取器讀取具備代碼的刀片保持具的平坦面、且容易利用機(jī)械手抽出的方式配置。在此情況下，由于刀片保持具包含直徑約2_?3_的較小的輪片，故要求穩(wěn)定地載置在例如載置臺(tái)等上，以使在代碼面露出的狀態(tài)下輪片不會(huì)受損。而且，為了利用機(jī)械手選擇并抓住刀片保持具且直接搬運(yùn)至刻劃頭的保持具接頭而進(jìn)行安裝，必需考慮載置臺(tái)與機(jī)械手的相關(guān)的組裝。[0017]然而，以往，未揭示適于利用如上文所述的機(jī)械手進(jìn)行刀片保持具的自動(dòng)更換的系統(tǒng)構(gòu)成，而一直未解決。[0018]因此，鑒于所述課題，本發(fā)明的目的在于提供一種具備適于利用機(jī)械手進(jìn)行自動(dòng)更換的功能的刀片保持具、及在收納體中收納著該刀片保持具的刀片保持具收納組。[0019][解決問題的技術(shù)手段][0020]為了解決所述課題，在本發(fā)明中采取如下的技術(shù)手段。即，本發(fā)明設(shè)為如下構(gòu)成:一種刀片保持具，包含:安裝在基板加工裝置的刻劃頭上的主體部、平行于該主體部的軸心而形成在該主體部的一端的一對(duì)平坦面、與該一對(duì)平坦面平行地形成在該一對(duì)平坦面之間的切槽、安裝在該切槽內(nèi)的輪片、及設(shè)置在所述一對(duì)平坦面中的任一面上的代碼，且在所述主體部的外周面形成著與主體部的軸心平行的滑槽。[0021][發(fā)明的效果][0022]根據(jù)本發(fā)明的刀片保持具，將刀片保持具收納在刀片保持具收納體時(shí)，若使形成在刀片保持具上的滑槽嵌合于設(shè)置在刀片保持具收納體上的適當(dāng)?shù)耐箺l，則通過滑槽與凸條的嵌合而阻止刀片保持具在收納體內(nèi)部自由轉(zhuǎn)動(dòng)，從而可保持刀片保持具不晃動(dòng)。由此，可防止搬運(yùn)收納著刀片保持具的收納體時(shí)因晃動(dòng)引起的輪片的損傷。[0023]而且，在本發(fā)明中，優(yōu)選的是設(shè)為如下構(gòu)成:在刀片保持具的主體部的另一端設(shè)置著切削其周面的一部分所得的安裝部，所述滑槽形成在所述安裝部的相反側(cè)的主體部外周面。[0024]由此，可將拇指放在安裝部且將食指放在與其呈180°的相反側(cè)的滑槽的附近，以由兩手指夾住的方式捏住刀片保持具而進(jìn)行收納操作，收納操作變得容易而操作效率提聞。[0025]而且，在本發(fā)明中，優(yōu)選的是所述滑槽設(shè)為與所述切槽連通的構(gòu)成。[0026]由此，可將刀片保持具的切槽作為導(dǎo)件而嵌入刀片保持具收納體的凸條，從而插入操作變得容易。[0027]而且，本發(fā)明設(shè)為如下構(gòu)成:一種刀片保持具收納組，其包含刀片保持具、及具備收納該刀片保持具的收納孔的刀片保持具收納體，所述刀片保持具包含安裝在基板加工裝置的刻劃頭上的主體部、平行于該主體部的軸心而形成在該主體部的一端的一對(duì)平坦面、與該一對(duì)平坦面平行地形成在該一對(duì)平坦面之間的切槽、安裝在該切槽的輪片、設(shè)置在所述一對(duì)平坦面中的任一面上的代碼、及平行于主體部的軸心而形成在所述主體部的外周面上的滑槽，在所述刀片保持具收納體的收納孔內(nèi)設(shè)置著可滑動(dòng)地嵌合于所述刀片保持具的所述滑槽的凸條，在所述收納孔中收納著所述刀片保持具時(shí)，以所述刀片保持具成為朝向所述收納孔的規(guī)定方向的姿勢(shì)的方式設(shè)定所述滑槽與所述凸條的位置。[0028]由此，在刀片保持具收納體中收納著刀片保持具時(shí)，通過滑槽與凸條的嵌合而阻止刀片保持具在收納體內(nèi)部自由轉(zhuǎn)動(dòng)，從而可保持刀片保持具不晃動(dòng)，可防止搬運(yùn)收納著刀片保持具的收納體時(shí)的輪片的損傷。而且，通過滑槽與凸條的嵌合，能夠以使刀片保持具的代碼面朝向規(guī)定方向的姿勢(shì)進(jìn)行收納，由此，下一步驟中的利用讀取器進(jìn)行的讀碼或利用機(jī)械手進(jìn)行的取出變得容易?！緦＠綀D】【附圖說明】[0029]圖1是表示包含本發(fā)明的刀片保持具的基板加工裝置的一例的立體圖。[0030]圖2(a)?(C)是表示本發(fā)明的刀片保持具的一例的圖。[0031]圖3是表示本發(fā)明的刀片保持具及安裝刀片保持具的保持具接頭的立體圖。[0032]圖4是表示本發(fā)明的刀片保持具與保持具接頭的局部剖面前視圖。[0033]圖5是表示刀片保持具收納體的一例的分解立體圖。[0034]圖6是在刀片保持具收納體中收納著刀片保持具的狀態(tài)的剖視圖。[0035]圖7(a)?(d)是表示圖5所示的刀片保持具收納體中的彈性止動(dòng)部的動(dòng)作的說明圖。[0036]圖8(a)、(b)是表示刀片保持具收納體的其他實(shí)施例的剖視圖。[0037]圖9是表示刀片保持具收納體的又一其他實(shí)施例的剖視圖。[0038]圖10是表示圖1所示的基板加工裝置中的機(jī)械手與載置架的立體圖。[0039]圖11是表示載置架的其他實(shí)施例的立體圖。[0040]圖12是表示載置架的又一其他實(shí)施例的立體圖。[0041]圖13是表示在圖1所示的基板加工裝置中利用CCD相機(jī)拍攝到的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的狀態(tài)的說明圖。[0042]圖14是表示圖1所示的基板加工裝置的控制系統(tǒng)的構(gòu)成的方塊圖。[0043]圖15(a)、(b)是外切、內(nèi)切的刻劃方法的說明圖。[0044]圖16是表示以往的基板加工裝置的一例的立體圖。[0045]圖17是表示以往的刀片保持具的立體圖。[0046]圖18是表示以往的刀片保持具與保持具接頭的局部剖面前視圖。[0047][符號(hào)的說明][0048]A基板加工裝置[0049]W基板[0050]I平臺(tái)[0051]10刻劃頭[0052]12刀片保持具[0053]12a主體部[0054]12b平坦部[0055]12c切槽[0056]12d輪軸[0057]12e輪片[0058]13保持具接頭[0059]15刀片保持具收納體[0060]15a收納孔[0061]15s凸條[0062]16載置架[0063]17機(jī)械手[0064]17b夾持爪【具體實(shí)施方式】[0065]以下，基于表示本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)的圖式對(duì)本發(fā)明的詳細(xì)情況進(jìn)行說明。[0066]圖1是表示具備本發(fā)明的刀片保持具的基板加工裝置的一例的概略性立體圖。該基板加工裝置A包含載置并保持成為加工對(duì)象的基板W的水平的平臺(tái)I。平臺(tái)I構(gòu)成為可通過內(nèi)置有馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部2而在水平面內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)，且可沿著水平軌道3在Y方向上移動(dòng)。該Y方向的移動(dòng)是通過利用馬達(dá)4進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的螺桿軸5實(shí)現(xiàn)。[0067]在基板加工裝置A中，以橫跨平臺(tái)I的方式設(shè)置有包含一對(duì)支柱6、6、及以將這些支柱6、6連結(jié)的方式在X方向上水平延伸的導(dǎo)桿7的橋部8。在導(dǎo)桿7上設(shè)置有在X方向上水平延伸的導(dǎo)件9，刻劃頭10以可沿著導(dǎo)件9在X方向上移動(dòng)的方式配置。刻劃頭10在X方向上的移動(dòng)是通過馬達(dá)11的驅(qū)動(dòng)而實(shí)現(xiàn)。在刻劃頭10上，以可經(jīng)由保持具接頭13裝卸的方式安裝有包含輪片12e的刀片保持具12。在刻劃頭10的內(nèi)部組裝有可實(shí)現(xiàn)刀片保持具12的升降的升降機(jī)構(gòu)。而且，在橋部8的上部設(shè)置有對(duì)基板W的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行拍攝的2臺(tái)CCD(ChargeCoupledDevice,電荷I禹合器件)相機(jī)18、18。[0068]在如上文所述的構(gòu)成下，一面將輪片12e按壓于載置在平臺(tái)I上的基板W—面使輪片12e與平臺(tái)I中的一者或兩者移動(dòng)，由此，可在X-Y方向上對(duì)基板W進(jìn)行刻劃而形成刻劃槽或進(jìn)行切斷。[0069]此外，在基板加工裝置A的平臺(tái)I的附近設(shè)置有:載置架16，載置收納刀片保持具12的多個(gè)刀片保持具收納體15;及機(jī)械手17，從刀片保持具收納體15中拔出刀片保持具12并安裝在刻劃頭10的保持具接頭13上，或從保持具接頭13卸除刀片保持具12。[0070]圖2是表示刀片保持具12的一例的圖，圖2(a)是前視圖，圖2(b)是側(cè)視縱剖視圖，圖2(c)是立體圖。刀片保持具12包含:大致圓柱狀的主體部12a;及一對(duì)平坦面12b、12b，相對(duì)于主體部12a的軸心平行且相互對(duì)稱地形成在主體部12a的一端(下端);此外，在這一對(duì)平坦面12b、12b之間，沿著主體部12a的軸心形成有與該平坦面12b平行地形成的切槽12c。在該切槽12c內(nèi)，經(jīng)由相對(duì)于主體部12a的軸心正交的輪軸12d，以使輪片12e的一部分從主體部12a的下端面露出的狀態(tài)旋轉(zhuǎn)自如地安裝有輪片12e。在平坦面12b中的一個(gè)面上，如下所述標(biāo)印有記錄著安裝在該刀片保持具12上的輪片12e的直徑或種類等管理上有用的刀片固有的數(shù)據(jù)的代碼12i。[0071]而且，在主體部12a的另一端(上端)，設(shè)置有安裝在保持具接頭13時(shí)用于定位的安裝部12f。安裝部12f包含切削主體部12a而形成的平面部12g與傾斜面12h。平面部12g是與主體部12a的軸心平行，且與位于下方的一對(duì)平坦面12b正交。而且，安裝部12f是由鐵等磁性金屬所構(gòu)成。[0072]此外，在一對(duì)平坦面12b、12b的下端部分，分別設(shè)置有從平坦面12b突出的一根銷12J0該銷12j優(yōu)選的是配置在平坦面12b、12b的旋轉(zhuǎn)對(duì)稱位置或左右對(duì)稱位置。如下所述，銷12j作為利用機(jī)械手17從刀片保持具收納體15中拔出刀片保持具12時(shí)的卡扣件發(fā)揮作用。另外，銷12j在各平坦面上各設(shè)置有一根，但也可以設(shè)置多根。而且，也可以省略任一個(gè)平坦面12b的銷12j。另外，將在刀片保持具收納體15中收納著刀片保持具12的組稱為“刀片保持具收納組”。[0073]在主體部12a的外周面且為安裝部12f的相反側(cè)，設(shè)置有在主體部12a的軸心方向上延伸的滑槽12k。該滑槽12k是與形成于下述的刀片保持具收納體15的收納孔內(nèi)面上的凸條15s相嵌合。該滑槽12k的一端與切槽12c相連。[0074]如圖3及圖4所示，安裝在刻劃頭10的保持具接頭13在上部設(shè)有軸承13a，且下部成為保持刀片保持具12的保持部13b。在保持部13b上設(shè)置有朝向下方開口的剖面大致圓形的開口部13c，在其內(nèi)部深處部安裝有磁鐵13e。此外，在開口部13c的內(nèi)部，設(shè)置有在開口部13c的與軸心相離的部位沿著與該軸心垂直的方向延伸的定位用平行銷13d。該平行銷13d是在刀片保持具12已插入于開口部13c時(shí)，與刀片保持具12的傾斜面12h(參照?qǐng)D2)接觸而將刀片保持具12的姿勢(shì)定位在固定方向上。在本發(fā)明的情況下，以輪片12e的旋轉(zhuǎn)移行方向與刻劃方向一致的方式進(jìn)行定位。[0075]在將刀片保持具12安裝在保持具接頭13上時(shí)，如圖3所示，將刀片保持具12從其安裝部12f插入于保持具接頭13的開口部13c而進(jìn)行安裝。如果安裝部12f插入于保持具接頭13的開口部13c，那么與刀片保持具12的傾斜面12h接觸而定位，并且刀片保持具12的上端部被磁鐵13e磁性吸附而得到保持。由此，可以刀片保持具12的姿勢(shì)朝向固定方向的狀態(tài)簡(jiǎn)單地安裝在保持具接頭13上。在更換輪片12e時(shí)，抵抗磁鐵13e的磁力而拉拔刀片保持具12，與刀片保持具一并進(jìn)行更換。[0076]圖5是表示收納刀片保持具12的刀片保持具收納體15的一例的分解立體圖，圖6是收納著刀片保持具12的狀態(tài)的剖視圖。刀片保持具收納體15包含貫通于前后的剖面大致圓形的收納孔15a，且包含具有平坦底面15y的弓形主體15b、將收納孔15a的前開口部閉合的前部罩蓋15c、及將后開口部閉合的后部罩蓋15d。收納孔15a形成為其軸心與底面15y平行。在弓形主體15b上，設(shè)置有與收納孔15a的前開口部的下緣相連且向前方延伸的平坦的下方前突部15e。[0077]在將刀片保持具12收納在刀片保持具收納體15的收納孔15a中時(shí)，從收納孔15a的后開口部最先插入輪片12e。在進(jìn)行該插入時(shí)，為了使刀片保持具12的設(shè)有代碼12i的平坦面12b成為與弓形主體15b的底面15y平行且始終朝上的姿勢(shì)，而在收納孔15a的內(nèi)面形成有供刀片保持具12的滑槽12k嵌合的凸條15s。因?yàn)榈镀３志?2的滑槽12k的一端是與切槽12c相連地形成，所以在將刀片保持具12插入于收納孔15a時(shí)，切槽12c可成為導(dǎo)件而嵌入于凸條15s，從而使插入操作變得容易。而且，在用手將刀片保持具12插入于收納孔15a的情況下，如果在使安裝部12f的平面部12g朝上的狀態(tài)下將大拇指放在平面部12g，并將食指放在180°相反側(cè)的滑槽12k的附近，以用兩手指夾持的方式捏住刀片保持具12并將其插入于收納孔15a，那么操作效率提高。[0078]前部罩蓋15c是由具有彈性的合成樹脂材料一體成形，且包含與弓形主體15b的底面15y進(jìn)行面接觸的平板狀部15f、及與弓形主體15b的頂部周面進(jìn)行面接觸的圓弧狀上蓋15g，板狀部15f與圓弧狀上蓋15g由前壁15h連結(jié)。在板狀部15f的上表面，朝向上方突出地設(shè)置有具有傘狀頭部15k的彈性止動(dòng)部15i，在弓形主體15b的前開口部的附近形成有用來供彈性止動(dòng)部15i從底面15y插通的貫通孔15j。[0079]在將彈性止動(dòng)部15i插通于貫通孔15j時(shí)，首先，如圖7(a)所示，傘狀頭部15k受壓縮而進(jìn)入，如果穿過貫通孔15j，那么如圖7(b)所示般傘狀頭部15k恢復(fù)成原形并擴(kuò)大，從而無法從貫通孔15j拔出。彈性止動(dòng)部15i的傘狀頭部15k的尺寸被預(yù)先設(shè)定為:在該姿勢(shì)下，從弓形主體15b的收納孔15a的內(nèi)周面向內(nèi)側(cè)略微突出。此外，為了在將彈性止動(dòng)部15i插通于貫通孔15j之后，能夠?qū)⒃搹椥灾箘?dòng)部15i保留而將前部罩蓋15c去除，而在彈性止動(dòng)部15i附近的板狀部15f上設(shè)置有脆弱的切取線15η。而且，在圓弧狀上蓋15g的下表面形成有彈性卡合于設(shè)置在弓形主體15b的上周面上的卡合槽15p的突起部15q(參照?qǐng)D6)，在突起部15q的相反側(cè)、也就是在圓弧狀上蓋15g的上表面設(shè)置有用來解除突起部15q的卡合的捏取片15r。[0080]從切取線15η切取而保留在弓形主體15b上的彈性止動(dòng)部15i是作為止動(dòng)部發(fā)揮功能，該止動(dòng)部是如圖6所示，在收納孔15a所收納的刀片保持具12的平坦面12b從收納孔15a的前開口部露出的位置，暫時(shí)制止刀片保持具12的前進(jìn)。也就是說，刀片保持具12的與平坦面12b鄰接的肩部12m抵接于彈性止動(dòng)部15i的傘狀頭部15k而在彈性止動(dòng)部15i的彈性變形的范圍內(nèi)被制止前進(jìn)。而且，如圖7(d)所示，形成為如果抵抗彈性止動(dòng)部15i的彈性力而將刀片保持具12從前開口部向拉出方向強(qiáng)有力地拉拽，那么彈性止動(dòng)部15i會(huì)傾倒而允許刀片保持具12的行進(jìn)。在此情況下，為了能夠使彈性止動(dòng)部15i傾倒，而使貫通孔15j形成為具有充足的空間。另外，肩部12m優(yōu)選的是如圖所示的傾斜面或圓弧，但只要可抵抗彈力而越過傘狀頭部15k，也可以為大致直角的邊緣。[0081]后部罩蓋15d是由具有彈性的合成樹脂材料一體成形，形成于罩蓋內(nèi)面的上下的突起部15t彈性卡合于設(shè)置在弓形主體15b的外周面的上下的卡合槽15u而裝卸自如地安裝。[0082]前部罩蓋15c是用來在刀片保持具12已收納在刀片保持具收納體15內(nèi)時(shí)防止刀片保持具12從前開口部脫落、并且保護(hù)輪片12e的刀尖的罩蓋，在前壁15h的內(nèi)面形成有供輪片12e的刀尖嵌入的凹部(參照?qǐng)D6)。而且，后部罩蓋15d是用來防止刀片保持具12從收納孔15a的后開口部脫落的罩蓋。[0083]圖8(a)是表示止動(dòng)部的其他實(shí)施例。在該實(shí)施例中，代替所述彈性止動(dòng)部15i,而形成有利用彈性卡止爪15v來限制刀片保持具12的前進(jìn)的止動(dòng)部。彈性卡止爪15v以受到彈簧15w的上推方向的彈力的狀態(tài)而安裝在刀片保持具收納體15的弓形主體15b上。彈性卡止爪15v的前端是以斜面朝向刀片保持具12的肩部12m的傾斜面形成，但也可以為圓弧。該實(shí)施例中的前部罩蓋15c'是從所述實(shí)施例中所例示的前部罩蓋15c去除彈性止動(dòng)部15i所得的構(gòu)造，且通過相互彈性嵌合的卡合槽15p'及突起部15q'而裝卸自如地安裝在收納孔15a的前開口部。而且，在前壁15h的內(nèi)面，與前部罩蓋15c同樣地形成有供輪片12e的刀尖嵌入的凹部。而且，在收納孔15a的后開口部，與所述實(shí)施例同樣地裝卸自如地安裝有后部罩蓋15d。[0084]而且，也可以代替所述后部罩蓋15d，而如圖8(b)所示般在收納孔15a的后開口部附近設(shè)置具有與彈性卡止爪15v相同的構(gòu)成的彈性卡止爪15x，以避免刀片保持具12從收納孔15a的后開口部脫落。彈性卡止爪15x的前端也以斜面朝向后開口部的傾斜面形成，以容易供刀片保持具12插入且難以脫落，但也可以為圓弧。[0085]在所述實(shí)施例中，例示了在各刀片保持具收納體15中收納I個(gè)刀片保持具12的示例，但也可以如圖9所示般收納多個(gè)、例如5?10個(gè)刀片保持具12。在此情況下，為了防止后續(xù)的刀片保持具12的輪片12e抵觸前方的刀片保持具12的尾部而使刀尖受損，優(yōu)選的是在刀片保持具12的尾部(圖2中的上端面)設(shè)置供刀尖嵌入的凹部12p。[0086]所述刀片保持具收納體15準(zhǔn)備有多個(gè)，按照種類將包含種類不同的輪片12e的刀片保持具12加以區(qū)分，并收納在各刀片保持具收納體15中，在工廠內(nèi)等處加以保管。而且，在使用時(shí)，以已卸除前部罩蓋15c的狀態(tài)整齊排列地配置在基板加工裝置A的載置架16上。[0087]圖10是表示使多個(gè)、例如3個(gè)刀片保持具收納體15整齊排列地載置的載置架16、及設(shè)置在該載置架的附近的機(jī)械手17的立體圖。[0088]在該實(shí)施例中，載置架16包含將刀片保持具收納體15的平坦底面15y作為載置面而載置的3塊架板16a。在各架板16a上，以將刀片保持具收納體15所收納的刀片保持具12的平坦面12b以從架板16a的前端緣16b突出的狀態(tài)保持的方式，在架板周緣部設(shè)置有周圍框16c。而且，自前端緣16b側(cè)觀察時(shí)各架板16a是呈階梯狀地組裝。[0089]機(jī)械手17包含:機(jī)械臂17a，前端具有夾持爪17b;及讀取器17c，安裝在該機(jī)械臂17a上且讀取設(shè)置在刀片保持具12的平坦面12b上的代碼12i。機(jī)械臂17a是以如下方式構(gòu)成:其前端的夾持爪17b從側(cè)面夾著從刀片保持具收納體15露出的刀片保持具12的一對(duì)平坦面12b、12b而拉出。這時(shí)，因?yàn)楦骷馨?6a呈階梯狀地組裝，所以不會(huì)受其他刀片保持具12的妨礙而可抓住目標(biāo)的刀片保持具12而將其拉出，并且，因?yàn)楦鞯镀３志?2的代碼12i在平面上不重疊，所以可從上方由讀取器17c容易且正確地讀取各刀片保持具12的代碼12i。[0090]而且，在利用夾持爪17b從側(cè)面夾著一對(duì)平坦面12b、12b而拉出時(shí)，各平坦面12b的銷12j、12j成為相對(duì)于拉拔方向的對(duì)夾持爪17b的卡扣件，從而可確實(shí)且順利地拉出。這時(shí)，因?yàn)殇N12j配置在各平坦面12b、12b上，所以可相對(duì)于拉出方向而平衡性良好地卡住夾持爪17b，從而可順利地拉出刀片保持具12。而且，從刻劃頭的保持具接頭13(參照?qǐng)D3)拔出的情況也相同。[0091]載置架16的多個(gè)架板16a也可以如圖11所示般形成為:在同一平面上越是位于靠近機(jī)械手17的側(cè)的架板16a，越以前端緣16b后退的方式各自向后方錯(cuò)開。由此，與所述呈階梯狀地組裝的實(shí)施例同樣地，在利用機(jī)械臂17a的夾持爪17b拉出刀片保持具12時(shí)，不會(huì)受其他刀片保持具12的妨礙而可抓住目標(biāo)的刀片保持具12而將其拉出，并且容易從上方由機(jī)械臂17a的讀取器17c讀取各刀片保持具12的代碼12i。[0092]所述載置架16的架板16a優(yōu)選的是，如圖12所示般以前端緣16b成為下方的方式傾斜地形成。由此，在利用機(jī)械臂17a從刀片保持具收納體15拉拔刀片保持具12時(shí)，可利用因自身重量所產(chǎn)生的滑動(dòng)效果而輕松地拉出。特別是在將圖9中所示的收納多個(gè)刀片保持具12的刀片保持具收納體15載置在架板16a上的情況下，優(yōu)選的是以刀片保持具12因自身重量而前進(jìn)的程度而預(yù)先對(duì)架板16a設(shè)定傾斜角。由此，如果拉出前方的刀片保持具12，那么后續(xù)的刀片保持具12可因自身重量而前進(jìn)并在止動(dòng)部位置等待下次的拉出。[0093]當(dāng)利用圖1的基板加工裝置開始刻劃時(shí)，首先，將基板W載置并保持在平臺(tái)I上。繼而，利用設(shè)置在橋部8上的2臺(tái)CXD相機(jī)18、18，如圖13所示般對(duì)基板上的左右2個(gè)部位的定位用對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記M1、M2進(jìn)行檢測(cè)。在使將這時(shí)的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記連結(jié)的直線S相對(duì)于將2臺(tái)CCD相機(jī)18、18連結(jié)的基準(zhǔn)直線L傾斜的情況下，利用旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部2使平臺(tái)I旋轉(zhuǎn)且以傾斜角成為O的方式進(jìn)行修正。而且，對(duì)應(yīng)于預(yù)先設(shè)定的刻劃開始位置的輪片12e均由CXD相機(jī)18進(jìn)行檢測(cè)。如果向Y方向偏移，那么使平臺(tái)I移動(dòng)與其偏移量相當(dāng)?shù)牧?。而且，如果向X方向偏移，那么使刻劃頭10向X方向移動(dòng)與其偏移量相當(dāng)?shù)牧俊Ｔ揦-Y方向的偏移的校正或基板的傾斜角的修正是如圖14的方塊圖所示般，通過附帶的電腦19的控制部20而進(jìn)行。[0094]在圖14的方塊圖中，來自2臺(tái)CXD相機(jī)18的輸出被提供給電腦19的控制部20?？刂撇?0基于校正值來使平臺(tái)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部2運(yùn)行從而使平臺(tái)I旋轉(zhuǎn)，并以所述傾斜角成為O的方式進(jìn)行修正。而且，X-Y方向的偏移的校正也是通過驅(qū)動(dòng)各驅(qū)動(dòng)部21、22而進(jìn)行。在校正結(jié)束后，驅(qū)動(dòng)刀片保持具升降驅(qū)動(dòng)部23而使刀片保持具12下降，一面將輪片12e按壓于基板W—面使輪片12e與平臺(tái)I中的一者或兩者移動(dòng)，由此，于X-Y方向上對(duì)基板W進(jìn)行刻劃而形成刻劃槽。這時(shí)使用的輪片12e的移行距離記錄在數(shù)據(jù)保持部24中，如果達(dá)到輪片12e的更換時(shí)期，那么以告警(alarm)等顯示。[0095]在刀片保持具12的代碼12i中記錄有以下數(shù)據(jù)。該代碼也可以使用一維碼、例如條形碼，但優(yōu)選的是可在狹小的面積內(nèi)輸入較多的信息的二維碼。二維碼是直接標(biāo)印而形成的，但也可以黏附標(biāo)簽。數(shù)據(jù)的輸入是利用附帶的電腦進(jìn)行的，除個(gè)體識(shí)別用的編號(hào)、刀尖的形態(tài)或直徑等輪片固有的規(guī)格以外，也記錄有與以下所說明的「外切」「內(nèi)切」等刻劃方式或刻劃的配方相符合的型式編號(hào)等。[0096]利用輪片刻劃基板W的方法有「外切」與「內(nèi)切」，可根據(jù)基板的種類或用途而選擇性地區(qū)分使用?！竿馇小故侨鐖D15(a)所示，在使輪片12e的最下端下降到比基板W的表面(上表面)略靠下方的狀態(tài)下，設(shè)定在基板W的端緣的外側(cè)位置(刻劃開始位置)。繼而，使輪片12e從所設(shè)定的位置起水平移動(dòng)，碰撞到基板端部之后越過端部，此外，一面以指定的刻劃壓力按壓一面進(jìn)行水平移動(dòng)而進(jìn)行刻劃。另一方面，「內(nèi)切」是如圖15(b)所示，使輪片12e從基板的端緣起從上方下降到內(nèi)側(cè)(刻劃開始位置)，并以指定的刻劃壓力抵接在基板上，一面按壓一面進(jìn)行水平移動(dòng)而進(jìn)行刻劃。將該「外切」時(shí)的自基板端緣到刻劃開始位置為止的的距離設(shè)為「+」值，將「內(nèi)切」時(shí)的自基板端緣到刻劃開始位置為止的距離設(shè)為「_」值，將段階性地區(qū)分這些數(shù)值的「外切」「內(nèi)切」的各種刻劃配方預(yù)先輸入設(shè)定在電腦19中，可利用配方選擇按鈕25選擇。例如可以如下方式自多個(gè)選項(xiàng)選擇配方:在「外切」時(shí)「+」值為2mm的情況下選擇(Al)的按鈕，在「內(nèi)切」時(shí)「-」值為2mm的情況下成為(A5)的按鈕。[0097]在輪片12e移行指定的移行距離而達(dá)到更換時(shí)期時(shí)、或需要更換成其他規(guī)格的輪片12e時(shí)，在基板加工裝置A停止之后，通過機(jī)械手17進(jìn)行輪片12e的更換。機(jī)械手17將具有應(yīng)更換的輪片12e的刀片保持具12從保持具接頭13卸除并移到另外準(zhǔn)備的收納箱中之后，通過安裝在機(jī)械臂17a上的讀取器17c讀取儲(chǔ)存在刀片保持具收納體15中的刀片保持具12的代碼12i，而選擇適當(dāng)?shù)牡镀３志?2并拔出，且將其安裝在保持具接頭13上。[0098]而且，因?yàn)樵陔娔X19中記載有適合于所選擇的各個(gè)配方的輪片12e的型式編號(hào)，所以僅通過選擇預(yù)先輸入設(shè)定在電腦19中的配方的選擇按鈕25，便可更換成適合于配方的刀片保持具12。也就是說，如果利用選擇按鈕25選擇配方，那么可決定適合于所選擇的配方的刀片保持具12，且使機(jī)械臂17a移動(dòng)到載置在載置架16上的刀片保持具收納體15，由讀取器17c讀取刀片保持具12的代碼12i而從刀片保持具收納體15中拔取較佳的刀片保持具12。所拔取的刀片保持具12安裝在刻劃頭10的保持具接頭13上，按照電腦中所預(yù)先設(shè)定的配方自動(dòng)地刻劃。所以，可以消除每當(dāng)設(shè)定配方時(shí)操作人員需要選擇適合于該配方的刀片保持具12這一繁雜程序。[0099]以上，已對(duì)本發(fā)明的代表性實(shí)施例進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并非限定于所述實(shí)施形態(tài)，而可在達(dá)成其目的且不脫離權(quán)利要求的范圍內(nèi)適當(dāng)進(jìn)行修正、變更。[0100][工業(yè)上的可利用性][0101]本發(fā)明可利用于通過一面將輪片按壓于基板的表面一面進(jìn)行刻劃而對(duì)基板加工出切斷用劃線或進(jìn)行切斷的基板加工裝置。【權(quán)利要求】1.一種刀片保持具，包含:安裝在基板加工裝置的刻劃頭上的主體部、平行于該主體部的軸心而形成在該主體部的一端的一對(duì)平坦面、與該一對(duì)平坦面平行地形成在該一對(duì)平坦面之間的切槽、安裝在該切槽內(nèi)的輪片、及設(shè)置在所述一對(duì)平坦面中的任一面的代碼，且在所述主體部的外周面形成著與主體部的軸心平行的滑槽。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的刀片保持具，其特征在于:在所述主體部的另一端設(shè)置著切削其周面的一部分所得的安裝部，所述滑槽形成在所述安裝部的相反側(cè)的主體部外周面。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的刀片保持具，其特征在于:所述滑槽與所述切槽連通。4.一種刀片保持具收納組，其包含刀片保持具、及具備收納該刀片保持具的收納孔的刀片保持具收納體，所述刀片保持具包含安裝在基板加工裝置的刻劃頭上的主體部、平行于該主體部的軸心而形成在該主體部的一端的一對(duì)平坦面、與該一對(duì)平坦面平行地形成在該一對(duì)平坦面之間的切槽、安裝在該切槽內(nèi)的輪片、設(shè)置在所述一對(duì)平坦面中的任一面上的代碼、及平行于主體部的軸心而形成在所述主體部的外周面上的滑槽，在所述刀片保持具收納體的收納孔內(nèi)，設(shè)置著可滑動(dòng)地嵌合于所述刀片保持具的所述滑槽的凸條，在所述收納孔中收納著所述刀片保持具時(shí)，以所述刀片保持具成為朝向所述收納孔的規(guī)定方向的姿勢(shì)的方式設(shè)定所述滑槽與所述凸條的位置?！疚臋n編號(hào)】B28D1/22GK103507166SQ201310199720【公開日】2014年1月15日申請(qǐng)日期:2013年5月27日優(yōu)先權(quán)日:2012年6月29日【發(fā)明者】高松生芳,三浦善孝,富永圭介申請(qǐng)人:三星鉆石工業(yè)股份有限公司