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一種空間光調(diào)制裝置及投影系統(tǒng)的制作方法

文檔序號(hào):11916984閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種空間光調(diào)制裝置,包括用于起到支撐和固定作用的支架,由光處理元件構(gòu)成的光處理區(qū)域,以及設(shè)置在所述光處理區(qū)域周邊的黑色襯底;其特征在于,還包括:

設(shè)置在所述光處理區(qū)域入射光入射一側(cè)的、對(duì)入射光能量具有消減作用的擋光欄,所述擋光欄至少覆蓋所述光處理區(qū)域的邊緣。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的空間光調(diào)制裝置,其特征在于,所述擋光欄的入射光入射一側(cè)表面設(shè)置有對(duì)入射光具有反射作用的反射膜。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的空間光調(diào)制裝置,其特征在于,所述擋光欄的入射光入射一側(cè)表面設(shè)置有對(duì)入射光具有吸收作用的吸收膜;

或者,所述擋光欄的入射光入射一側(cè)表面設(shè)置有對(duì)入射光具有吸收作用的涂層。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的空間光調(diào)制裝置,其特征在于,所述涂層為黑色材料涂層或者灰色材料涂層。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的空間光調(diào)制裝置,其特征在于,所述擋光欄為在入射光入射一側(cè)表面設(shè)置有消光漆的金屬擋光欄。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的空間光調(diào)制裝置,其特征在于,所述擋光欄入射光入射一側(cè)的表面為不平整面。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的空間光調(diào)制裝置,其特征在于,所述擋光欄的內(nèi)周邊設(shè)置為向入射光入射一側(cè)的翹邊。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的空間光調(diào)制裝置,其特征在于,所述擋光欄為不透明陶瓷片。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的空間光調(diào)制裝置,其特征在于,所述陶瓷片為氮化鋁陶瓷片,或者在所述光處理區(qū)域與所述陶瓷片之間設(shè)置有氮化鋁層,或者在陶瓷片朝向入射光入射一側(cè)的表面設(shè)置有氮化鋁層。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的空間光調(diào)制裝置,其特征在于,所述擋光欄還覆蓋所述黑色襯底的內(nèi)周邊。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的空間光調(diào)制裝置,其特征在于,所述擋光欄貼合在所述光處理區(qū)域的邊緣或/和所述黑色襯底內(nèi)周邊區(qū)域上。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的空間光調(diào)制裝置,其特征在于,所述擋光欄與所述光處理區(qū)域的入射光入射一側(cè)的表面分離設(shè)置。

13.一種投影系統(tǒng),其特征在于,包括權(quán)利要求1-12任一項(xiàng)所述的空間光調(diào)制裝置。

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