雙向加工的激光機(jī)臺(tái)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種激光機(jī)臺(tái)，特別涉及一種雙向加工的激光機(jī)臺(tái)。
【背景技術(shù)】
[0002]因機(jī)械加工的先天限制，一般通過(guò)傳統(tǒng)鉆頭進(jìn)行鉆孔加工所制成的孔洞的極限是ΙΟΟμπι(微米)。并且，鉆頭直徑愈小愈容易在加工時(shí)受損。因此，為了制造孔徑更小的孔洞，亦有采用激光加工來(lái)制作。然而，由于激光在加工時(shí)往往會(huì)以高斯波或經(jīng)光束調(diào)制成平頭波，因此所加工成的孔洞形狀會(huì)是上寬下窄的，其平整度控制不易，亦難達(dá)到精度要求。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]有鑒于此，本實(shí)用新型的目的在于提供一種雙向加工的激光機(jī)臺(tái)，通過(guò)對(duì)加工件的二面分別加工鉆孔，來(lái)形成較對(duì)稱的深孔。
[0004]為達(dá)上述目的，本實(shí)用新型提供一種雙向加工的激光機(jī)臺(tái)，其包含:
[0005]一聚焦激光源，輸出一第一激光；
[0006]—升降平臺(tái)，承載該聚焦激光源；
[0007]—運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，包含一雙軸滑軌及設(shè)置于該雙軸滑軌上的一承載臺(tái)；
[0008]—旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，連接于該承載臺(tái)，該旋轉(zhuǎn)平臺(tái)能夠移除地連接一加工件；
[0009]—高度感應(yīng)器，檢測(cè)其與該加工件之間的距離；
[0010]一視覺(jué)模塊，拍攝該加工件的影像；及
[0011]—控制裝置，電連接該聚焦激光源、該升降平臺(tái)、該運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、該旋轉(zhuǎn)平臺(tái)、該高度感應(yīng)器及該視覺(jué)模塊，該控制裝置根據(jù)該高度感應(yīng)器檢測(cè)得的距離驅(qū)動(dòng)該升降平臺(tái)升降該聚焦激光源，并根據(jù)該影像驅(qū)動(dòng)該運(yùn)動(dòng)平臺(tái)位移該承載臺(tái)，以致使該第一激光于該加工件的一第一面上的預(yù)定位置形成一第一凹孔，該控制裝置并驅(qū)動(dòng)該旋轉(zhuǎn)平臺(tái)旋轉(zhuǎn)該加工件，以致使該第一激光于該加工件的相對(duì)于該第一面的一第二面上形成與該第一凹孔相對(duì)的一第二凹孔，且該第一凹孔與該第二凹孔彼此相通而形成一深孔。
[0012]上述的雙向加工的激光機(jī)臺(tái)，其中更包含一修飾激光源，輸出一第二激光，以修整該深孔內(nèi)壁，其中該第二激光的聚焦光斑小于該第一激光的聚焦光斑。
[0013]上述的雙向加工的激光機(jī)臺(tái)，其中更包含一鉆石銑刀，電連接該控制裝置，以修整該深孔的二端開(kāi)口邊緣。
[0014]上述的雙向加工的激光機(jī)臺(tái)，其中更包含一鉆石銑刀，電連接該控制裝置，以修整該深孔的二端開(kāi)口邊緣。
[0015]上述的雙向加工的激光機(jī)臺(tái)，其中該承載臺(tái)沿著該雙軸滑軌于一運(yùn)動(dòng)平面上位移，該旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的一旋轉(zhuǎn)軸平行于該運(yùn)動(dòng)平面。
[0016]上述的雙向加工的激光機(jī)臺(tái)，其中該深孔的直徑小于50 μm，且該深孔的深度小于500 μ mD
[0017]上述的雙向加工的激光機(jī)臺(tái)，其中該深孔的直徑小于50 μm，且該深孔的深度小于500 μ mD
[0018]根據(jù)以上的雙向加工的激光機(jī)臺(tái)，可利用旋轉(zhuǎn)盤來(lái)旋轉(zhuǎn)加工件，以聚焦激光源對(duì)加工件的二面分別加工鉆孔，而可形成較對(duì)稱的深孔。且通過(guò)修飾激光源可對(duì)深孔內(nèi)壁修整。另一方面，在同一升降臺(tái)上可同時(shí)具有聚焦激光源、修飾激光源與鉆石銑刀，而可于同一環(huán)境下進(jìn)行高精度的加工。
[0019]以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)描述，但不作為對(duì)本實(shí)用新型的限定。
【附圖說(shuō)明】
[0020]圖1為本實(shí)用新型一實(shí)施例的雙向加工的激光機(jī)臺(tái)的立體示意圖；
[0021]圖2為本實(shí)用新型一實(shí)施例的雙向加工的激光機(jī)臺(tái)的側(cè)視示意圖；
[0022]圖3A為本實(shí)用新型一實(shí)施例的深孔加工的示意圖(一)；
[0023]圖3B為本實(shí)用新型一實(shí)施例的深孔加工的示意圖(二)；
[0024]圖4A為本實(shí)用新型一實(shí)施例的深孔加工的示意圖(三)；
[0025]圖4B為本實(shí)用新型一實(shí)施例的深孔加工的示意圖(四)。
[0026]其中，附圖標(biāo)記
[0027]100:雙向加工的激光機(jī)臺(tái)
[0028]110:聚焦激光源
[0029]120:升降平臺(tái)
[0030]130:運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
[0031]131:雙軸滑軌
[0032]1311:X 軸軌道
[0033]1312:Y 軸軌道
[0034]132:承載臺(tái)
[0035]140:旋轉(zhuǎn)平臺(tái)
[0036]141:基座
[0037]142:旋轉(zhuǎn)盤
[0038]150:高度感應(yīng)器
[0039]160:視覺(jué)模塊
[0040]170:控制裝置
[0041]180:修飾激光源
[0042]190:鉆石銑刀
[0043]200:加工件
[0044]210:第一面
[0045]211:第一凹孔
[0046]220:第二面
[0047]222:第二凹孔
[0048]230:深孔
[0049]240:導(dǎo)角
[0050]310:基臺(tái)
[0051]320:架體
[0052]400:旋轉(zhuǎn)軸
[0053]x、y、z:軸向
【具體實(shí)施方式】
[0054]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)原理和工作原理作具體的描述:
[0055]請(qǐng)合并參照?qǐng)D1及圖2，分別為本實(shí)用新型一實(shí)施例的雙向加工的激光機(jī)臺(tái)的立體示意圖及側(cè)視示意圖。雙向加工的激光機(jī)臺(tái)100包含基臺(tái)310、架體320、聚焦激光源110、升降平臺(tái)120、運(yùn)動(dòng)平臺(tái)130、旋轉(zhuǎn)平臺(tái)140、高度感應(yīng)器150、視覺(jué)模塊160及控制裝置170?；_(tái)310可為花崗石平臺(tái)，用以承載架體320及升降平臺(tái)120?？刂蒲b置170電連接聚焦激光源110、升降平臺(tái)120、運(yùn)動(dòng)平臺(tái)130、旋轉(zhuǎn)平臺(tái)140、高度感應(yīng)器150及視覺(jué)模塊160?？刂蒲b置170可為臺(tái)式電腦、工業(yè)電腦、嵌入式控制器等具計(jì)算及控制能力的計(jì)算機(jī)，儲(chǔ)存有控制程序并可執(zhí)行。
[0056]升降平臺(tái)120承載聚焦激光源110。聚焦激光源110用以輸出一第一激光。第一激光用以對(duì)加工件200加工形成高深寬比(depth to width rat1)的細(xì)微孔洞，此細(xì)微孔洞無(wú)法通過(guò)機(jī)械加工(如鉆頭)來(lái)形成。例如:孔徑為50 μπι，孔深為500 μπι，則深寬比為10。但本實(shí)用新型實(shí)施例的高深寬比非限于此，例如深寬比可為5?20的范圍。第一激光的波長(zhǎng)與能量可視加工件的材質(zhì)與欲形成的孔洞寬度與深度而定，本實(shí)用新型并不限制。
[0057]運(yùn)動(dòng)平臺(tái)130掛設(shè)于架體320。運(yùn)動(dòng)平臺(tái)130包含雙軸滑軌131及設(shè)置于雙軸滑軌131上的承載臺(tái)132。雙軸滑軌131具有X軸軌道1311及Y軸軌道1312。X軸軌道平行于軸向X，Y軸軌道平行于軸向Y,以使承載臺(tái)132能在其上沿此軸向X與軸向y所構(gòu)成的運(yùn)動(dòng)平面上位移。
[0058]旋轉(zhuǎn)平臺(tái)140連接于承載臺(tái)132，于此由于運(yùn)動(dòng)平臺(tái)130倒掛于架體320的關(guān)系，旋轉(zhuǎn)平臺(tái)140位于承載臺(tái)132下。旋轉(zhuǎn)平臺(tái)140包含基座141及旋轉(zhuǎn)盤142，旋轉(zhuǎn)盤142可相對(duì)于基座141旋轉(zhuǎn)。旋轉(zhuǎn)平臺(tái)140可移除地連接(例如夾持、鎖扣)加工件200，藉此可使得加工件200可依據(jù)旋轉(zhuǎn)盤142的旋轉(zhuǎn)軸400 (于此為軸向y)旋轉(zhuǎn)至少180度。在此，旋轉(zhuǎn)軸400為運(yùn)動(dòng)平面的其中一軸向，而平行于運(yùn)動(dòng)平面。換言之，旋轉(zhuǎn)盤142的盤面與運(yùn)動(dòng)平面垂直。
[0059]高度感應(yīng)器150設(shè)置于加工件200相對(duì)于聚焦激光源110的另一側(cè)，而可檢測(cè)其與加工件200之間的距離。于此，高度感應(yīng)器150位于加工件200上方。高度感應(yīng)器150可通過(guò)紅外線、激光、超音波等位置檢測(cè)技術(shù)來(lái)檢測(cè)其自身于