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一種鈮管狀靶材及其生產(chǎn)方法與流程

文檔序號:11965447閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:
1.一種鈮管狀靶材的生產(chǎn)方法,包括以下步驟:將鈮管坯進(jìn)行第一次加熱,所述第一次加熱的溫度為700℃~950℃;向加熱后的鈮管坯表面第一次噴涂玻璃粉,所述第一次噴涂玻璃粉的厚度為1mm~2mm;將第一次噴涂玻璃粉后的鈮管坯進(jìn)行第二次加熱,向第二次加熱后的鈮管坯表面第二次噴涂玻璃粉,所述第二次噴涂玻璃粉的厚度為1~2mm;將噴涂玻璃粉后的鈮管坯進(jìn)行熱擠壓;將熱擠壓后的鈮管坯進(jìn)行酸洗;將酸洗后的鈮管坯進(jìn)行熱處理,得到鈮管狀靶材。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的生產(chǎn)方法,其特征在于,所述第二次加熱的溫度為1000℃~1300℃,所述第二次加熱的時(shí)間為1min~15min。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的生產(chǎn)方法,其特征在于,所述熱擠壓的溫度為1000℃~1300℃,所述擠壓比大于等于4.5。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的生產(chǎn)方法,其特征在于,所述酸洗的酸液為氫氟酸和硝酸的混合溶液,所述酸液的溫度為55℃~75℃。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的生產(chǎn)方法,其特征在于,所述熱處理的溫度為930℃~1300℃,所述熱處理的時(shí)間為60min~100min。6.一種由權(quán)利要求1~5任一項(xiàng)所生產(chǎn)的鈮管狀靶材,所述鈮管狀靶材的晶粒度為5級~6.5級。
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