本實(shí)用新型屬于碳化硅加工機(jī)械領(lǐng)域，具體涉及一種碳化硅晶棒A邊定向磨削裝置。

背景技術(shù)：

眾所周知，在碳化硅晶棒A定向邊的磨削工序中，首先需要對(duì)其定向，在定向過(guò)程中，需要用手工轉(zhuǎn)動(dòng)晶棒來(lái)尋找最佳定向位置，然后將晶棒緊固，但手工轉(zhuǎn)動(dòng)晶棒不容易確定定向位置，而且在晶棒緊固時(shí)，晶棒容易轉(zhuǎn)動(dòng)，從而導(dǎo)致定向不準(zhǔn)確，需要從新定向該過(guò)程耗費(fèi)大量的時(shí)間，降低了工作效率。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型提供一種碳化硅晶棒A邊定向磨削裝置，該裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，可以節(jié)省定向時(shí)間，提高定向精度。

針對(duì)上述問(wèn)題本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案為：一種碳化硅晶棒A邊定向磨削裝置，該裝置包括框架和卡盤(pán)，所述框架上安裝有支撐板，所述支撐板上固定安裝有減速機(jī)和鎖緊裝置，所述減速機(jī)和鎖緊裝置通過(guò)轉(zhuǎn)軸、第一轉(zhuǎn)軸軸套和第二轉(zhuǎn)軸軸套與卡盤(pán)連接，所述減速機(jī)和鎖緊裝置上安裝有轉(zhuǎn)輪，所述卡盤(pán)由兩個(gè)相對(duì)的V型槽組成，卡盤(pán)每個(gè)V型槽上均設(shè)有緊固螺栓，卡盤(pán)的V型槽內(nèi)設(shè)有橡膠層，所述橡膠層可在緊固螺栓的作用下水平移動(dòng)被并鎖緊，其具體實(shí)現(xiàn)形式可采用絲杠或其他現(xiàn)有技術(shù)實(shí)現(xiàn)。

使用時(shí)，將晶棒放入卡盤(pán)內(nèi)，用緊固螺栓調(diào)整橡膠層的位置并將晶棒夾緊，之后用緊固螺栓將其緊固并鎖緊，防止在定向過(guò)程中發(fā)生偏移，定向時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)輪通過(guò)減速機(jī)和自鎖裝置，帶動(dòng)卡盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)，從而尋找最佳定向位置，當(dāng)確定最佳位置后對(duì)A邊進(jìn)行磨削。

綜上所述，本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，不僅節(jié)省了定向時(shí)間，提高了定向精度，提高了工作效率，而且由于采用了橡膠層配合緊固螺栓的方式固定晶棒，有效避免了晶棒崩邊現(xiàn)象的產(chǎn)生，保證了產(chǎn)品質(zhì)量。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中，1為框架，2為卡盤(pán)，3為轉(zhuǎn)輪，4為減速機(jī)和自鎖裝置，5為第一轉(zhuǎn)軸軸套，6為轉(zhuǎn)軸，7為支撐板，8為第二轉(zhuǎn)軸軸套，9為緊固螺栓，10為橡膠層。

具體實(shí)施方式

一種碳化硅晶棒A邊定向磨削裝置，該裝置包括框架1和卡盤(pán)2，框架1上安裝有支撐板7，所述支撐板7上固定安裝有減速機(jī)和自鎖裝置4，所述減速機(jī)和自鎖裝置4通過(guò)轉(zhuǎn)軸6、第一轉(zhuǎn)軸軸套5和第二轉(zhuǎn)軸軸套8與卡盤(pán)2連接，所述減速機(jī)和自鎖裝置4上安裝有轉(zhuǎn)輪3，所述卡盤(pán)2為兩個(gè)相對(duì)的V型槽組成，卡盤(pán)2每個(gè)V型槽上均設(shè)有緊固螺栓9，卡盤(pán)2的V型槽內(nèi)設(shè)有橡膠層10，所述橡膠層10可在緊固螺栓9的作用下水平移動(dòng)被并鎖緊，所述橡膠層10與緊固螺栓之間可采用絲杠或其他現(xiàn)有技術(shù)連接，從而實(shí)現(xiàn)橡膠層的水平運(yùn)動(dòng)。