技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種氮化鋁單晶生長的提拉裝置及拉提方法，該提拉裝置包括拉提組件、碳化鉭坩堝、發(fā)熱筒和保溫層；拉提組件由拉提繩、拉提桿和升降石墨筒構(gòu)成，拉提繩的一端與中頻感應(yīng)爐上的提拉升降系統(tǒng)相連接，另一端與拉提桿的一端連接，拉提桿的另一端與升降石墨筒的上蓋連接；碳化鉭坩堝固定在升降石墨筒內(nèi)；升降石墨筒設(shè)置在發(fā)熱筒內(nèi)，保溫層包裹在發(fā)熱筒的外側(cè)。本申請還公開了一種氮化鋁單晶生長的提拉方法。本申請的提拉裝置可有效解決生長氮化鋁晶體常用碳化鉭坩堝不易實(shí)現(xiàn)上下移動的弊端。

技術(shù)研發(fā)人員：程章勇
受保護(hù)的技術(shù)使用者：北京華進(jìn)創(chuàng)威電子有限公司
文檔號碼：201610511240
技術(shù)研發(fā)日：2016.06.30
技術(shù)公布日：2017.02.15