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一種單晶爐石英坩堝的裝料方法與流程

文檔序號:12252063閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1. 一種單晶爐石英坩堝的裝料方法,其特征在于:包括A、B、C、D、E、F、G七種料,A料粒徑為50-90mm,B料粒徑為20-80mm,C料粒徑為3-10 mm,D料粒徑為20-50mm,E料粒徑為200-350mm,F(xiàn)料粒徑為150-220mm,G料粒徑為2-5mm,其中A料體積占總加料量的32%,B料體積占總加料量的16%,C料體積占總加料量的6%,D料體積占總加料量的4%,E料體積占總加料量的31%,F(xiàn)料體積占總加料量的5%,G料體積占總加料量的6%,按照以下加料順序?qū)⑸鲜銎叻N料均勻鋪層加入坩堝內(nèi):首先加入C料的二分之一,然后加入B料的二分之一,再加入余下二分之一的C料,然后加入E料,再加入余下二分之一的B料,之后依次加入G料、F料、D料和A料;所述坩堝為直徑23英寸,高度430mm。

2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述一種單晶爐石英坩堝的裝料方法,其特征在于:包括A、B、C、D、E、F、G七種料,A料粒徑為50-80mm,B料粒徑為20-50mm,C料粒徑為3-10 mm,D料粒徑為30-50mm,E料粒徑為200-300mm,F(xiàn)料粒徑為150-200mm,G料粒徑為2-5mm,其中A料體積占總加料量的32%,B料體積占總加料量的16%,C料體積占總加料量的6%,D料體積占總加料量的4%,E料體積占總加料量的31%,F(xiàn)料體積占總加料量的5%,G料體積占總加料量的6%,按照以下加料順序?qū)⑸鲜銎叻N料均勻鋪層加入坩堝內(nèi):首先加入C料的二分之一,然后加入B料的二分之一,再加入余下二分之一的C料,然后加入E料,再加入余下二分之一的B料,之后依次加入G料、F料、D料和A料。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述一種單晶爐石英坩堝的裝料方法,其特征在于:A料為不規(guī)則形狀,B料為長方體狀,C料為不規(guī)則形狀,D料為不規(guī)則形狀,E料為圓柱狀,F(xiàn)料為圓錐狀,G料為顆粒狀。

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