技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種降低多晶硅晶錠頭部碳含量的排氣裝置，包括隔熱籠，隔熱籠頂部設(shè)有頂板，頂板上設(shè)有排氣管組件，排氣管組件包括主排氣管、第一連接管、第二連接管和OT連接管，主排氣管包括主通氣管、環(huán)扣和伸縮管，第一連接管包括一級管、二級管和套管，第一連接管和第二連接管與主排氣管之間均設(shè)有直角彎頭，兩個第一連接管與主排氣管之間設(shè)有三通彎頭，第一連接管和第二連接管之間設(shè)有聚氣盒，聚氣盒包括盒體和盒蓋，盒蓋上設(shè)有若干定位孔，定位孔內(nèi)設(shè)有固定螺栓；本發(fā)明能夠很好的將晶錠上部的碳雜質(zhì)排除，解決原來只能依靠側(cè)部排氣排雜、二期排雜效果差的情況。

技術(shù)研發(fā)人員：司榮進(jìn);陸繼波
受保護(hù)的技術(shù)使用者：鎮(zhèn)江環(huán)太硅科技有限公司
文檔號碼：201610981663
技術(shù)研發(fā)日：2016.11.09
技術(shù)公布日：2017.02.22