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一種氣煉石英玻璃砣及其高純石英砂熔制工藝的制作方法

文檔序號(hào):40615090發(fā)布日期:2025-01-07 21:03閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種氣煉石英玻璃砣,其特征在于,所述氣煉石英玻璃砣制備時(shí)由若干個(gè)均勻布置的火焰通過(guò)氫氣、氧氣燃燒與進(jìn)料的石英砂在沉積爐內(nèi)反應(yīng)生成二氧化硅顆粒,二氧化硅顆粒在轉(zhuǎn)動(dòng)的石英玻璃靶片上逐漸沉積形成氣煉石英玻璃砣,所述氣煉石英玻璃砣的平面度小于0.05mm。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氣煉石英玻璃砣,其特征在于,所述氣煉石英玻璃砣的密度為2.2-2.3g/cm3、軟化點(diǎn)溫度為1700±30℃、可見(jiàn)光透光率在93%以上,在紫外線光譜區(qū),最大透光率在80%以上、莫氏硬度7、二氧化硅含量99.997%、重量50~80kg、直徑為450~750mm、高100~200mm;光學(xué)均勻性為1.0~4.0×10-6。

3.一種氣煉石英玻璃砣的高純石英砂熔制工藝,其特征在于,由如下依次進(jìn)行的工藝步驟構(gòu)成:

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種氣煉石英玻璃砣的高純石英砂熔制工藝,其特征在于,所述加熱裝置由位于石英火焰燃燒器進(jìn)氣口處的主加熱機(jī)構(gòu)和位于沉積爐桶狀本體壁內(nèi)的輔助加熱機(jī)構(gòu)構(gòu)成;輔助加熱機(jī)構(gòu)包括位于沉積爐桶狀本體壁內(nèi)的的加熱絲、沉積爐桶狀本體內(nèi)壁開口處設(shè)置的環(huán)形陣列孔板。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種氣煉石英玻璃砣的高純石英砂熔制工藝,其特征在于,所述環(huán)形陣列孔板設(shè)有由內(nèi)至外的兩塊并且兩塊環(huán)形陣列孔板錯(cuò)位設(shè)置。


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種氣煉石英玻璃砣及其高純石英砂熔制工藝,氣煉石英玻璃砣制備時(shí)由若干個(gè)均勻布置的火焰通過(guò)氫氣、氧氣燃燒與進(jìn)料的石英砂在沉積爐內(nèi)反應(yīng)生成二氧化硅顆粒,二氧化硅顆粒在轉(zhuǎn)動(dòng)的石英玻璃靶片上逐漸沉積形成氣煉石英玻璃砣,所述氣煉石英玻璃砣的平面度小于0.05mm。高純石英砂熔制工藝,由如下依次進(jìn)行的工藝步驟構(gòu)成:對(duì)沉積爐預(yù)熱,將石英玻璃靶片逐漸上升至設(shè)定高度;將石英砂原料投入原料進(jìn)料口,同時(shí)通過(guò)石英火焰燃燒器通入氫氣和氧氣的混合氣體進(jìn)而將石英砂原料帶入沉積爐內(nèi)并沉積在石英玻璃靶片上;生長(zhǎng)至設(shè)定厚度后,停止進(jìn)料并關(guān)閉裝置;自然冷卻后將生長(zhǎng)成的氣煉石英玻璃砣移出沉積爐。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)燃燒均勻,減少供氣的浪費(fèi)。

技術(shù)研發(fā)人員:徐煜清,徐源,徐傳龍,馮維娥
受保護(hù)的技術(shù)使用者:江蘇弘晶源新材料科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/1/6
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