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一種將兩面通透的超薄氧化鋁模板移植到任意固體襯底上的方法與流程

文檔序號(hào):11768173閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種將兩面通透的超薄氧化鋁模板移植到任意固體襯底上的方法,該方法使用PMMA溶液作為粘合劑,不需要去除,解決了PMMA作為支撐層時(shí)去不干凈的問(wèn)題;該方法先將帶有鋁基的超薄氧化鋁模板移植到襯底上再對(duì)鋁基進(jìn)行去除,解決了超薄氧化鋁模板由于自身厚度過(guò)薄,在移植過(guò)程中易破裂的問(wèn)題;移植到襯底表面的超薄氧化鋁模板被粘在襯底表面,解決了在去阻擋層過(guò)程中超薄氧化鋁模板易破碎的問(wèn)題;所使用的超薄氧化鋁模板對(duì)襯底沒(méi)有要求,襯底可為非金屬、金屬或柔性襯底,有效地?cái)U(kuò)展了利用超薄氧化鋁模板制備納米粒子陣列的應(yīng)用范圍。

技術(shù)研發(fā)人員:趙艷;徐佳宇;馮超;閆胤洲;曾勇;蔣毅堅(jiān)
受保護(hù)的技術(shù)使用者:北京工業(yè)大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日:2017.06.30
技術(shù)公布日:2017.10.20
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