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位置校正用工具以及X射線位置計測裝置的制作方法

文檔序號:12265286閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種位置校正用工具,該位置校正用工具是X射線位置計測裝置的位置校正用工具,該X射線位置計測裝置利用X射線相機來拍攝基于從X射線發(fā)射器發(fā)射的X射線的圖像而對測定對象物進行測定,該位置校正用工具使所述X射線位置計測裝置中的所述X射線發(fā)射器的X射線發(fā)射中心與所述X射線相機的光軸對準,其中,該位置校正用工具具有:

第1透過部,其使所述X射線發(fā)射器側(cè)發(fā)射的X射線透過;以及

第2透過部,其使由所述第1透過部透過的X射線透過并投影到所述X射線相機,

所述位置校正用工具將基于由所述第1透過部透過的X射線的第1投影像、和基于由所述第2透過部透過的X射線的第2投影像投影到所述X射線相機。

2.根據(jù)權利要求1所述的位置校正用工具,其中,

所述第1透過部和所述第2透過部具有使X射線透過的孔。

3.根據(jù)權利要求2所述的位置校正用工具,其中,

所述第1透過部的孔的直徑小于所述第2透過部的孔的直徑。

4.根據(jù)權利要求1~3中的任意一項所述的位置校正用工具,其中,

所述第1透過部的部件的厚度比所述第2透過部的部件的厚度薄。

5.根據(jù)權利要求1~4中的任意一項所述的位置校正用工具,其中,

所述第1透過部和所述第2透過部由X射線透過率彼此不同的部件構(gòu)成。

6.根據(jù)權利要求5所述的位置校正用工具,其中,

所述第1透過部的部件為鋁,所述第2透過部的部件為黃銅。

7.一種X射線位置計測裝置,其具有:

X射線發(fā)射器和X射線相機;

工件載置臺,其載置測定對象物;

第1移動部,其使所述X射線發(fā)射器相對于所述工件載置臺上的測定對象物沿著該工件載置臺的面移動;

第2移動部,其使所述X射線相機相對于所述工件載置臺上的測定對象物沿著該工件載置臺的面移動;

圖像顯示部,從所述X射線發(fā)射器發(fā)射并透過了所述測定對象物的X射線作為2個不同的X射線投影像而投影在該圖像顯示部上;以及

權利要求1至6中的任意一項所述的位置校正用工具,

所述X射線位置計測裝置根據(jù)所述2個不同的X射線投影像的位置偏移量使所述第1移動部和第2移動部中的至少一方移動,由此使所述X射線發(fā)射器的X射線發(fā)射中心與所述X射線相機的光軸一致。

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