技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種空氣耦合超聲波檢測(cè)薄膜厚度的方法，利用空氣耦合超聲自動(dòng)化檢測(cè)系統(tǒng)對(duì)至少一組多層薄膜進(jìn)行厚度測(cè)量，檢測(cè)采用透射式方式；所述空氣耦合超聲自動(dòng)化檢測(cè)系統(tǒng)至少包含一個(gè)超聲發(fā)射器和超聲接收器，一組多層薄膜的結(jié)構(gòu)為兩層厚度相同的單層薄膜，中間通過硅膠粘合在一起；本發(fā)明的空氣耦合超聲波檢測(cè)薄膜厚度的方法，提出一種對(duì)環(huán)境友好，可以應(yīng)用到工業(yè)自動(dòng)化的快速檢測(cè)薄膜厚度的方法；其具有無(wú)污染性、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性和方便性等優(yōu)點(diǎn)，替代了目前廣泛使用的對(duì)環(huán)境有輻射污染的以及容易造成X射線裝置老化的X射線薄膜檢測(cè)方法。

技術(shù)研發(fā)人員：沈宇平;趙軍輝
受保護(hù)的技術(shù)使用者：蘇州博昇科技有限公司
文檔號(hào)碼：201610889064
技術(shù)研發(fā)日：2016.10.12
技術(shù)公布日：2017.02.22