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一種高精度諧振壓力傳感器芯體底座的制作方法

文檔序號(hào):11103080閱讀:來源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種高精度諧振壓力傳感器芯體底座,用于高精度壓力傳感器芯體表頭封裝,包括螺紋、基座、凹槽、敏感芯片安裝槽、引腳。引腳與基座之間設(shè)置玻璃絕緣層,本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)為:密封結(jié)構(gòu)有效的將外界介質(zhì)與傳感器芯體隔離,保護(hù)芯體;引腳與基座之間的玻璃絕緣層盡可能地削弱溫度所帶來的影響。

技術(shù)研發(fā)人員:常林法
受保護(hù)的技術(shù)使用者:蚌埠開恒電子有限公司
文檔號(hào)碼:201611207392
技術(shù)研發(fā)日:2016.12.23
技術(shù)公布日:2017.05.10

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