技術特征：

技術總結
本發(fā)明公開了一種多頻掃描探針聲學顯微鏡系統(tǒng)及其實現(xiàn)方法，系統(tǒng)包括多個聲學信號源、多路信號疊加模塊、聲學換能器、掃描器、微懸臂探針、光電檢測系統(tǒng)、多個相干檢測解調模塊和掃描探針顯微鏡控制系統(tǒng)，低通濾波器的輸入端與光電檢測系統(tǒng)的輸出端連接，低通濾波器的輸出端與反饋控制模塊的輸入端連接，反饋控制模塊的輸出端分別與樣品表面形貌圖顯示模塊的輸入端以及掃描器的輸入端連接，各聲學信號圖顯示模塊的輸入端與各相干檢測解調模塊的輸出端對應連接。本發(fā)明能驅動聲學換能器產生多個不同頻率的聲激勵信號，只需一次掃描成像就可得到多種頻率的樣品聲學信號，檢測效率高，且能實時得到樣品的全部結構信息，可廣泛應用于顯微鏡領域。

技術研發(fā)人員：吳浚瀚
受保護的技術使用者：廣州市本原納米儀器有限公司
技術研發(fā)日：2017.06.14
技術公布日：2017.09.29