技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
基板的吸附裝置具有：工作臺(tái)，其包括用于吸附基板的吸附面；以及多個(gè)抽吸部，其設(shè)于工作臺(tái)的吸附面。該基板的吸附裝置具有控制部，該控制部以多個(gè)抽吸部中的一部分的抽吸部為起點(diǎn)，使沿著自作為起點(diǎn)的一部分的抽吸部分開的方向配置的剩余的多個(gè)抽吸部沿著自作為起點(diǎn)的一部分的抽吸部分開的方向依次減壓。

技術(shù)研發(fā)人員：宇津木洋;伊藤泰則
受保護(hù)的技術(shù)使用者：旭硝子株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日：2015.10.23
技術(shù)公布日：2017.09.08