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一種石墨烯基碲鎘汞材料及其制備方法與流程

文檔序號(hào):11136694閱讀:950來源:國(guó)知局
一種石墨烯基碲鎘汞材料及其制備方法與制造工藝

本發(fā)明涉及紅外探測(cè)技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種石墨烯基碲鎘汞材料及其制備方法。



背景技術(shù):

紅外探測(cè)技術(shù)是航天偵察、導(dǎo)彈預(yù)警、臨近空間目標(biāo)探測(cè)、機(jī)載火控、艦載偵察的重要手段,紅外探測(cè)材料的探測(cè)性能是影響紅外探測(cè)系統(tǒng)靈敏度的關(guān)鍵。半個(gè)多世紀(jì)以來,基于碲鎘汞、II類超晶格等光電探測(cè)材料的紅外焦平面器件得到快速發(fā)展,極大地促進(jìn)了紅外成像與探測(cè)技術(shù)的發(fā)展,使紅外探測(cè)裝備的探測(cè)靈敏度得到大幅度提升,溫度靈敏度達(dá)到幾十mK(10-2K量級(jí)),較好地滿足了武器裝備需求。

為了滿足航天偵察、預(yù)警探測(cè)、機(jī)載火控等武器裝備對(duì)敵方目標(biāo)的遠(yuǎn)距離、大范圍、全被動(dòng)探測(cè)等方面的需求,對(duì)紅外探測(cè)系統(tǒng)的探測(cè)靈敏度的要求日益提高;同時(shí),隨著紅外隱身技術(shù)的發(fā)展,新一代隱身戰(zhàn)斗機(jī)、遠(yuǎn)程隱身轟炸機(jī)、海面隱身艦艇等目標(biāo)的雷達(dá)及紅外隱身能力日趨完善,空中、海面及水下目標(biāo)的紅外輻射強(qiáng)度日益降低,為實(shí)現(xiàn)對(duì)隱身目標(biāo)的穩(wěn)定探測(cè),需要進(jìn)一步提高紅外探測(cè)系統(tǒng)的探測(cè)靈敏度。但同時(shí),目前碲鎘汞紅外探測(cè)材料的量子效率已經(jīng)達(dá)到70%左右,使用上述紅外紅探測(cè)材料研制的紅外焦平面探測(cè)器的探測(cè)靈敏度已接近或達(dá)到理論性能極限,以目前的紅外探測(cè)材料為基礎(chǔ),采用優(yōu)化紅外焦平面器件性能來將其探測(cè)靈敏度提升2個(gè)量級(jí)以上的技術(shù)途徑面臨著嚴(yán)竣挑戰(zhàn)。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

為了進(jìn)一步提高紅外探測(cè)系統(tǒng)的探測(cè)靈敏度,本發(fā)明提供了一種石墨烯基碲鎘汞材料及其制備方法。

本發(fā)明提供的一種紅外探測(cè)材料(石墨烯基碲鎘汞材料),包括紅外光吸收層和電荷傳輸載體層;所述電荷傳輸載體層布設(shè)在所述紅外光吸收層上;其中,所述電荷傳輸載體層由石墨烯材料制備得到。

本發(fā)明提供的一種紅外探測(cè)材料(石墨烯基碲鎘汞材料)的制備方法,包括以下步驟:

在襯底上面依次生長(zhǎng)緩沖層、紅外光吸收層;

在基底上面生長(zhǎng)石墨烯層;

除去所述紅外光吸收層的表層氧化層,并進(jìn)行退火;除去石墨烯層下面的基底,并將所述石墨烯層轉(zhuǎn)移至經(jīng)退火處理后的紅外光吸收層表面進(jìn)行鍵合,得到紅外探測(cè)材料。

本發(fā)明的有益效果如下:

本發(fā)明實(shí)施例利用石墨烯材料作為光生載流子的輸運(yùn)層提升響應(yīng)速率和探測(cè)器靈敏度,結(jié)合了石墨烯材料的獨(dú)特能帶結(jié)構(gòu)、超高載流子遷移率、超寬光譜吸收的特性以及碲鎘汞材料的極高量子效率性能,可適應(yīng)新一代武器裝備和電子系統(tǒng)發(fā)展對(duì)紅外探測(cè)器的需求,解決提高探測(cè)距離、拓展探測(cè)頻段、提升探測(cè)精度等武器裝備性能發(fā)展瓶頸問題,實(shí)現(xiàn)紅外探測(cè)靈敏度從幾十mK向亞mK方向發(fā)展,支持新一代中遠(yuǎn)程光電探測(cè)裝備從分立、局部戰(zhàn)場(chǎng)感知走向高分辨、全天候、寬光譜、全球多維信息獲取。

上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述,為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段,而可依照說明書的內(nèi)容予以實(shí)施,并且為了讓本發(fā)明的上述和其它目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更明顯易懂,以下特舉本發(fā)明的具體實(shí)施方式。

附圖說明

圖1是本發(fā)明裝置實(shí)施例紅外探測(cè)材料的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖2是本發(fā)明裝置實(shí)施例實(shí)例1的紅外探測(cè)材料的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖3是本發(fā)明方法實(shí)施例紅外探測(cè)材料制備方法的流程圖;

圖4是本發(fā)明方法實(shí)施例除去石墨烯薄膜下面基底的示意圖。

具體實(shí)施方式

下面將參照附圖更詳細(xì)地描述本公開的示例性實(shí)施例。雖然附圖中顯示了本公開的示例性實(shí)施例,然而應(yīng)當(dāng)理解,可以以各種形式實(shí)現(xiàn)本公開而不應(yīng)被這里闡述的實(shí)施例所限制。相反,提供這些實(shí)施例是為了能夠更透徹地理解本公開,并且能夠?qū)⒈竟_的范圍完整的傳達(dá)給本領(lǐng)域的技術(shù)人員。

石墨烯材料在光電探測(cè)應(yīng)用方面具有先天的優(yōu)勢(shì)。作為一種碳納米材料,石墨烯擁有特殊的能帶結(jié)構(gòu)(零帶隙、零有效質(zhì)量),進(jìn)而使得其具有高達(dá)200000cm2V-1s-1的超高載流子遷移率和從可見光到遠(yuǎn)紅外的超寬光譜吸收,在光電探測(cè)器方面展現(xiàn)出從紫外到紅外的寬譜響應(yīng)及超快探測(cè)的性能。作為一種二維原子晶體,石墨烯二維特性與現(xiàn)有的硅工藝線完美兼容;此外,石墨烯材料的二維特性還可以避免由于像元尺寸減小而產(chǎn)生的漏電現(xiàn)象,有望實(shí)現(xiàn)超高密度像元陣列,從而實(shí)現(xiàn)高分辨率;并且該材料具有極低功耗、極高靈敏且超輕超穩(wěn)定。這些優(yōu)越的性質(zhì)及特殊的二維結(jié)構(gòu)使其在國(guó)防軍事上有著廣泛的應(yīng)用前景。

根據(jù)本發(fā)明的裝置實(shí)施例,提供了一種紅外探測(cè)材料,圖1是本發(fā)明裝置實(shí)施例紅外探測(cè)材料的結(jié)構(gòu)示意圖,如圖1所示,根據(jù)本發(fā)明裝置實(shí)施例的紅外探測(cè)材料包括包括紅外光吸收層和電荷傳輸載體層;所述電荷傳輸載體層布設(shè)在所述紅外光吸收層上;其中,所述電荷傳輸載體層由石墨烯材料制備得到。

具體的,所述紅外光吸收層生長(zhǎng)在設(shè)有緩沖層的襯底上。

具體的,所述紅外光吸收層由碲鎘汞材料制備得到。

具體的,所述紅外光吸收層的厚度為1~5微米。

具體的,所述電荷傳輸載體層由單層或多層石墨烯層構(gòu)成,單層或多層石墨烯層作為電極層以及蓋帽層。所述石墨烯層為高速電荷傳輸層,最大限度的提升電荷的傳輸速度,降低傳輸層由于產(chǎn)生-復(fù)合產(chǎn)生的暗電流,提升紅外探測(cè)的極限性能。

當(dāng)光線入射的時(shí)候,紅外光吸收層吸收入射光,產(chǎn)生光生電子-空穴對(duì),其中一種電荷傳輸?shù)绞┥?,在外加偏壓的作用下快速傳輸形成光電流?;陧阪k汞優(yōu)異的光吸收特性,把碲鎘汞吸收層作為柵極,吸引出石墨烯中另外一種電荷,進(jìn)而提高光電流,增加光電導(dǎo)增益。采用石墨烯基碲鎘汞紅外探測(cè)材料復(fù)合從理論上可以獲得紅外波段的極高光電響應(yīng)度。

為了詳細(xì)的說明本發(fā)明的紅外探測(cè)材料,給出實(shí)例1。

圖2是本發(fā)明裝置實(shí)施例實(shí)例1的紅外探測(cè)材料的結(jié)構(gòu)示意圖,如圖2所示,紅外探測(cè)材料包括下至上依次排列的襯底、緩沖層及紅外光吸收層和電荷傳輸載體層。

所述襯底的材質(zhì)為Si、GaAs,Ge、InSb、CdZnTe、GaSb、或藍(lán)寶石中的一種,以及碲鎘汞可預(yù)見的其他襯底;所述緩沖層的材質(zhì)為ZnTe、CdTe,厚度為幾十埃到幾百埃;所述紅外光吸收層(由碲鎘汞材料制備得到)的厚度為1~5微米。

通過外延或者沉積的方式生長(zhǎng)1-5微米左右的紅外光吸收層,截止波長(zhǎng)可以包括短波、中波、長(zhǎng)波以及甚長(zhǎng)波。

所述電荷傳輸載體層由1~10石墨烯層構(gòu)成,

本發(fā)明裝置實(shí)施例采用光吸收和電荷傳輸分開的方法來提高探測(cè)器的靈敏度,基于石墨烯材料的獨(dú)特能帶結(jié)構(gòu)、超高載流子遷移率、超寬光譜吸收的特性,結(jié)合碲鎘汞材料的極高量子效率性能,通過將碲鎘汞紅外半導(dǎo)體材料吸收層和石墨烯結(jié)合的辦法,使碲鎘汞紅外半導(dǎo)體材料扮演光吸收體的角色,石墨烯則充當(dāng)電荷傳輸載體,得到了具有極高紅外輻射響應(yīng)度、超寬光譜響應(yīng)范圍的新一代石墨烯基復(fù)合紅外探測(cè)材料,大幅度提升其紅外輻射響應(yīng)度和探測(cè)靈敏度。

根據(jù)本發(fā)明的方法實(shí)施例,提供了一種紅外探測(cè)材料的制備方法,圖3是本發(fā)明方法實(shí)施例紅外探測(cè)材料制備方法的流程圖,如圖3所示,根據(jù)本發(fā)明方法實(shí)施例的紅外探測(cè)材料的制備方法包括以下步驟:

步驟301:在襯底上面依次生長(zhǎng)緩沖層、紅外光吸收層。

具體的,所述襯底的材質(zhì)為Si、GaAs,Ge、InSb、CdZnTe、GaSb、或藍(lán)寶石中的一種,或者碲鎘汞可預(yù)見的其他襯底。

步驟302:在基底上面生長(zhǎng)石墨烯薄膜。

具體的,所述基底的材質(zhì)為金屬箔(例如Cu)或Si襯底。

具體的,步驟302具體包括以下步驟:

采用氣相沉淀或氧化還原法在基底上生長(zhǎng)石墨烯薄膜。

步驟303:除去所述紅外光吸收層的表層氧化層,并進(jìn)行退火;除去石墨烯層下面的基底,并將所述石墨烯層轉(zhuǎn)移至經(jīng)退火處理后的紅外光吸收層表面進(jìn)行鍵合,得到紅外探測(cè)材料。。

具體的,除去所述碲鎘汞薄膜層的表層氧化層,并進(jìn)行退火具體包括以下步驟:

將所述紅外光吸收層進(jìn)行磨拋,除去所述紅外光吸收層的表層氧化層(5-10微米左右的碲鎘汞薄膜材料);

將去除表層氧化層后的紅外光吸收層進(jìn)行P型退火,獲得p型濃度為1015cm-3~1017cm-3量級(jí)的紅外光吸收層。

圖4是本發(fā)明方法實(shí)施例除去石墨烯薄膜下面基底的示意圖。

為了更加詳細(xì)的說明本發(fā)明方法實(shí)施例,給出實(shí)例2。

本發(fā)明的一種紅外探測(cè)材料的制備方法包括以下的步驟:

步驟A:理論計(jì)算。根據(jù)材料響應(yīng)波長(zhǎng)范圍,設(shè)定碲鎘汞(Hg1-xCdxTe)組分的參數(shù)、厚度;計(jì)算出與碲鎘汞能級(jí)匹配的石墨烯材料厚度、摻雜情況。

步驟B:碲鎘汞材料制備。采用晶格匹配碲鋅鎘襯底或其他替代襯底,通過液相外延或金屬氣相沉積、分子束外延等方式外延一定厚度碲鎘汞薄膜,厚度為微米量級(jí);

步驟C:鍵合前處理。生長(zhǎng)完后的碲鎘汞表面經(jīng)化學(xué)清洗去除表層氧化層、退火等工藝后等待與石墨烯鍵合;

步驟D:石墨烯薄膜制備。采用氣相沉積或氧化還原以及其他常規(guī)石墨烯制備方法在Cu箔或其他基底生長(zhǎng)石墨烯薄膜;

步驟E:轉(zhuǎn)移與鍵合。石墨烯剝離以及轉(zhuǎn)移,通過去除石墨烯生長(zhǎng)所需的基底材料,獲得石墨烯薄膜轉(zhuǎn)移至步驟C中的碲鎘汞表面實(shí)現(xiàn)鍵合;

其中,在所述的步驟A中,基于石墨烯和碲鎘汞材料的不同特性素,進(jìn)行石墨烯基復(fù)合紅外探測(cè)材料的工作機(jī)制、石墨烯和碲鎘汞材料的能級(jí)匹配、石墨烯和碲鎘汞材料載流子高速轉(zhuǎn)移等方面的理論計(jì)算,獲得石墨烯基碲鎘汞材料結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)類似附圖1。

其中,在所述的步驟B中,襯底采用(111)或(211)碲鋅鎘、Si、GaAs、Ge、InSb、藍(lán)寶石、GaSb等襯底經(jīng)清洗后裝入生長(zhǎng)設(shè)備,生長(zhǎng)組分合適的碲鎘汞薄膜,隨后降溫至室溫取出測(cè)試表征;

其中,在所述的步驟C中,碲鎘汞薄膜材料經(jīng)磨拋后剩余5-10微米左右的碲鎘汞薄膜材料,經(jīng)p型退火,獲得p型濃度為1015cm-3-1017cm-3量級(jí)的薄膜材料。

其中,在所述的步驟D中,石墨烯為單層或多層石墨烯層。

綜上所述,依照本發(fā)明的一種石墨烯基碲鎘汞材料及其制備方法,利用石墨烯和碲鎘汞材料優(yōu)勢(shì)制備復(fù)合材料,本身工藝的操作性強(qiáng)。

以上所述僅為本發(fā)明的實(shí)施例而已,并不用于限制本發(fā)明,對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說,本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi),所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本發(fā)明的權(quán)利要求范圍之內(nèi)。

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