技術(shù)總結(jié)
本實用新型一種晶圓超凈空間隔離盒，屬于晶圓生產(chǎn)加工領(lǐng)域。晶圓超凈空間隔離盒，包括盒體，所述盒體的底部設(shè)有底座，所述的底座上設(shè)有凸起的中心圓座，沿中心圓座的徑向兩側(cè)延伸出支腳，支腳尾部設(shè)有圓柱體，所述的圓柱體可旋轉(zhuǎn)。本實用新型提供的晶圓超凈空間隔離盒，減少了轉(zhuǎn)盤與底座的摩擦，減少了細小顆粒的生成。本實用新型提供的晶圓超凈空間隔離盒，采用安全可靠的把柄，方便拿取盒體，保證安全。

技術(shù)研發(fā)人員：童明
受保護的技術(shù)使用者：童明
文檔號碼：201620776658
技術(shù)研發(fā)日：2016.07.22
技術(shù)公布日：2017.10.20