技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種基片取放及轉(zhuǎn)移裝置，包括：第一取放組件、第二取放組件以及轉(zhuǎn)移組件；第一取放組件的第一直線動子通過第一氣缸帶動第一真空吸盤，依次在初始位置、第一反應位置、第一取放位置之間往復運動；第二取放組件的第二直線動子通過第二氣缸帶動第二真空吸盤，依次在第二取放位置、第二反應位置之間往復運動，第二反應位置對應第二反應區(qū)設(shè)置；轉(zhuǎn)移組件的基片支撐板設(shè)于第一取放位置和第二取放位置之間，轉(zhuǎn)移組件的第三直線動子帶動基片支撐板在第一取放位置和第二取放位置之間往復運動。本發(fā)明通過轉(zhuǎn)移組件和第一、第二取放組件自動完成基片的轉(zhuǎn)移及取放，避免了人工操作的低效率和危險性，可以實現(xiàn)基片安全、高效轉(zhuǎn)移地轉(zhuǎn)移及取放。

技術(shù)研發(fā)人員：陳蓉;馬玉春;單斌;王曉雷;林驥龍;李云
受保護的技術(shù)使用者：華中科技大學
技術(shù)研發(fā)日：2017.05.05
技術(shù)公布日：2017.08.04