本公開涉及離子檢測(cè)器和分析裝置。

背景技術(shù)：

1、作為離子檢測(cè)器，已知一種離子檢測(cè)器，其具備：通過(guò)離子入射而釋放電子的轉(zhuǎn)換倍增極(conversion?dynode)、將從轉(zhuǎn)換倍增極釋放的電子倍增的電子倍增部、以及使從轉(zhuǎn)換倍增極釋放的電子聚焦到電子倍增部的電子入射面的孔電極(aperture?electrode)(例如，參照日本特開2011-086403號(hào)公報(bào))。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、在上述那樣的離子檢測(cè)器中，有時(shí)為了提高從離子向電子的轉(zhuǎn)換效率而對(duì)轉(zhuǎn)換倍增極賦予其絕對(duì)值大的電位，在這種情況下，因?yàn)榇_保耐電壓性的必要性，難以縮小轉(zhuǎn)換倍增極與孔電極之間的距離。因此，考慮：通過(guò)使賦予孔電極的電位接近賦予轉(zhuǎn)換倍增極的電位來(lái)減小轉(zhuǎn)換倍增極與孔電極之間的電位差，縮小轉(zhuǎn)換倍增極與孔電極的距離。但是，在這種情況下，從轉(zhuǎn)換倍增極釋放的電子，不僅容易受到因轉(zhuǎn)換倍增極與孔電極之間的電位差而形成的電場(chǎng)的影響，還容易受到因轉(zhuǎn)換倍增極與電子入射面之間的電位差而形成的電場(chǎng)的影響，從轉(zhuǎn)換倍增極釋放的電子有可能在電子入射面的跟前聚焦，以發(fā)散的狀態(tài)入射于電子入射面。其結(jié)果是，入射于電子入射面的電子的量減少，離子的檢測(cè)效率有可能下降。

2、本發(fā)明的目的在于，提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)兼具小型化和離子的檢測(cè)效率的提高的離子檢測(cè)器及分析裝置。

3、本發(fā)明的一個(gè)方面的離子檢測(cè)器具備：轉(zhuǎn)換倍增極，其具有通過(guò)離子入射而釋放電子的轉(zhuǎn)換區(qū)域；電子倍增部，其具有上述電子所入射的電子入射面；以及孔電極，其具有使從上述轉(zhuǎn)換區(qū)域向上述電子入射面行進(jìn)的上述電子通過(guò)的孔(aperture)，上述轉(zhuǎn)換區(qū)域是向釋放上述電子的空間側(cè)為凸?fàn)畹膮^(qū)域。

技術(shù)特征：

1.一種離子檢測(cè)器，其中，

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離子檢測(cè)器，其中，

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的離子檢測(cè)器，其中，

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的離子檢測(cè)器，其中，

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的離子檢測(cè)器，其中，

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的離子檢測(cè)器，其中，

7.根據(jù)權(quán)利要求1～6中的任一項(xiàng)所述的離子檢測(cè)器，其中，

8.根據(jù)權(quán)利要求1～7中的任一項(xiàng)所述的離子檢測(cè)器，其中，

9.根據(jù)權(quán)利要求1～8中的任一項(xiàng)所述的離子檢測(cè)器，其中，

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的離子檢測(cè)器，其中，

11.一種分析裝置，其中，

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明的離子檢測(cè)器具備：具有通過(guò)離子入射而釋放電子的轉(zhuǎn)換區(qū)域的轉(zhuǎn)換倍增極；具有電子所入射的電子入射面的電子倍增部；以及具有使從轉(zhuǎn)換區(qū)域向電子入射面行進(jìn)的電子通過(guò)的孔的孔電極，轉(zhuǎn)換區(qū)域是向釋放電子的空間側(cè)為凸?fàn)畹膮^(qū)域。

技術(shù)研發(fā)人員：近藤淳一,遠(yuǎn)藤剛志
受保護(hù)的技術(shù)使用者：浜松光子學(xué)株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/10