基于化學(xué)溶液法制備鉍系超導(dǎo)薄膜的方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了基于化學(xué)溶液法制備鉍系超導(dǎo)薄膜的方法，包括以下工藝步驟：配置鉍系超導(dǎo)懸濁液，50~55g無(wú)水乙醇：2g~3g聚乙烯二醇：2.8g~3.2g司班：11g~14g鉍系超導(dǎo)粉，混合后放在雙向恒溫磁力攪拌器上63.7℃水浴加熱攪拌，形成；將襯底放在勻膠機(jī)托盤上，啟動(dòng)真空泵，使襯底吸附在托盤上；在勻膠機(jī)上旋涂鉍系高溫超導(dǎo)厚膜；涂膜完畢后，開始熱解過(guò)程；將高溫爐調(diào)節(jié)到預(yù)燒結(jié)的步驟；將高溫爐調(diào)節(jié)到燒結(jié)的步驟，燒結(jié)前三步在純氧環(huán)境中進(jìn)行，燒結(jié)后兩步在氧含量體積比為10%的氮氧氣氛中進(jìn)行；設(shè)計(jì)出一種具有工藝簡(jiǎn)易、方便、低成本、高效益的鉍系超導(dǎo)厚膜制備方法，且采用該方法能夠制備出大面積鉍系超導(dǎo)薄膜。
【專利說(shuō)明】
基于化學(xué)溶液法制備鉍系超導(dǎo)薄膜的方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及新材料技術(shù)領(lǐng)域，具體的說(shuō)，是基于化學(xué)溶液法制備鉍系超導(dǎo)薄膜的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]超導(dǎo)材料，是指具有在一定的低溫條件下呈現(xiàn)出電阻等于零以及排斥磁力線的性質(zhì)的材料。現(xiàn)已發(fā)現(xiàn)有28種元素和幾千種合金和化合物可以成為超導(dǎo)體。
[0003]超導(dǎo)材料具有如下特性:
零電阻超導(dǎo)材料處于超導(dǎo)態(tài)時(shí)電阻為零，能夠無(wú)損耗地傳輸電能。如果用磁場(chǎng)在超導(dǎo)環(huán)中引發(fā)感應(yīng)電流，這一電流可以毫不衰減地維持下去。這種“持續(xù)電流”已多次在實(shí)驗(yàn)中觀察到。
[0004]抗磁性
超導(dǎo)材料處于超導(dǎo)態(tài)時(shí)，只要外加磁場(chǎng)不超過(guò)一定值，磁力線不能透入，超導(dǎo)材料內(nèi)的磁場(chǎng)恒為零。
[0005]臨界溫度
外磁場(chǎng)為零時(shí)超導(dǎo)材料由正常態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)槌瑢?dǎo)態(tài)(或相反)的溫度，以Tc表示。Tc值因材料不同而異。已測(cè)得超導(dǎo)材料的最低Tc是鎢，為0.012K。到1987年，臨界溫度最高值已提高到10K左右。
[0006]臨界磁場(chǎng)
使超導(dǎo)材料的超導(dǎo)態(tài)破壞而轉(zhuǎn)變到正常態(tài)所需的磁場(chǎng)強(qiáng)度，以He表示。He與溫度T的關(guān)系為Hc=H0[l-(T/Tc)2]，式中HO為OK時(shí)的臨界磁場(chǎng)。
[0007]臨界電流和臨界電流密度
超導(dǎo)體的臨界溫度Tc與其同位素質(zhì)量M有關(guān)。M越大，Tc越低，這稱為同位素效應(yīng)。例如，原子量為199.55的萊同位素，它的Tc是4.18開，而原子量為203.4的萊同位素，Tc為4.146開。
[0008]通過(guò)超導(dǎo)材料的電流達(dá)到一定數(shù)值時(shí)也會(huì)使超導(dǎo)態(tài)破壞而轉(zhuǎn)變?yōu)檎B(tài)，以Ic表示。Ic 一般隨溫度和外磁場(chǎng)的增加而減少。單位截面積所承載的Ic稱為臨界電流密度，以Jc表不。
[0009]高溫超導(dǎo)材料，是具有高臨界轉(zhuǎn)變溫度(Tc)能在液氮溫度條件下工作的超導(dǎo)材料。因主要是氧化物材料，故又稱高溫氧化物超導(dǎo)材料。
[0010]高溫超導(dǎo)材料不但超導(dǎo)轉(zhuǎn)變溫度高，而且成分多是以銅為主要元素的多元金屬氧化物，氧含量不確定，具有陶瓷性質(zhì)。氧化物中的金屬元素(如銅)可能存在多種化合價(jià)，化合物中的大多數(shù)金屬元素在一定范圍內(nèi)可以全部或部分被其他金屬元素所取代，但仍不失其超導(dǎo)電性。除此之外，高溫超導(dǎo)材料具有明顯的層狀二維結(jié)構(gòu)，超導(dǎo)性能具有很強(qiáng)的各向異性。
[0011]已發(fā)現(xiàn)的高溫超導(dǎo)材料按成分分為含銅的和不含銅的。含銅超導(dǎo)材料有鑭鋇銅氧體系(Tc=35?40K)、釔鋇銅氧體系(按釔含量不同，了發(fā)生復(fù)化。最低為20K，高可超過(guò)90K)、鉍鍶鈣銅氧體系(Tc=1?110K)、鉈鋇鈣銅氧體系(Tc=125K)、鉛鍶釔銅氧體系(Tc約70K)。不含銅超導(dǎo)體主要是鋇鉀鉍氧體系(Tc約30K)。已制備出的高溫超導(dǎo)材料有單晶、多晶塊材，金屬?gòu)?fù)合材料和薄膜。高溫超導(dǎo)材料的上臨界磁場(chǎng)高，具有在液氦以上溫區(qū)實(shí)現(xiàn)強(qiáng)電應(yīng)用的潛力。
[0012]超導(dǎo)帶材未能實(shí)現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)的主要原因?yàn)樾阅芗皟r(jià)格。作為超導(dǎo)帶材制備的原材料，超導(dǎo)粉的性能及成本嚴(yán)重制約著超導(dǎo)帶材的成本，依靠進(jìn)口原材料的方式不僅提高了超導(dǎo)帶材的成本，而且降低了可能提高超導(dǎo)帶材的性能的途徑。因此，制備出具有較好化學(xué)和物理性能的超導(dǎo)粉成為制備高質(zhì)量的超導(dǎo)導(dǎo)線的必要條件。
[0013]由于鉍系超導(dǎo)體在高場(chǎng)低溫下有較高的臨界電流密度、可塑性好、易加工成材等特點(diǎn)，在工業(yè)上有著廣闊的應(yīng)用前景，尤其在電力設(shè)備和強(qiáng)磁體等領(lǐng)域是最具應(yīng)用潛力的高溫超導(dǎo)體之一，例如用于濾波器、高溫超導(dǎo)限流器、核磁共振譜儀的制作。因而鉍系超導(dǎo)厚膜(一般采用手術(shù)刀式、絲板印刷式和噴涂式等方法制備的氧化物高溫超導(dǎo)體的膜都稱為厚膜)的低成本、高性能制備技術(shù)成為了目前此類實(shí)用高溫超導(dǎo)材料的研究熱點(diǎn)。
[0014]傳統(tǒng)的制備鉍系超導(dǎo)厚膜的方法有離子束濺射法、微波磁控濺射法、射頻磁控濺射法、化學(xué)噴霧淀積法等。這些方法不但成本較高，而且不易制備大面積的超導(dǎo)厚膜，不利于實(shí)用化。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0015]本發(fā)明的目的在于設(shè)計(jì)出基于化學(xué)溶液法制備鉍系超導(dǎo)薄膜的方法，解決現(xiàn)有技術(shù)在進(jìn)行鉍系超導(dǎo)薄膜時(shí)存在成本高，不利實(shí)用化的弊端，設(shè)計(jì)出一種具有工藝簡(jiǎn)易、方便、低成本、高效益的鉍系超導(dǎo)厚膜制備方法，且采用該方法能夠制備出大面積鉍系超導(dǎo)薄膜。
[0016]本發(fā)明通過(guò)下述技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):基于化學(xué)溶液法制備鉍系超導(dǎo)薄膜的方法，包括以下工藝步驟:
1)配置祕(mì)系超導(dǎo)懸池液，具體為:按照各成分比例為50?55g無(wú)水乙醇:2g~3g聚乙稀二醇:2.8g~3.2g司班:I Ig?14g祕(mì)系超導(dǎo)粉，將上述各成份混合后放在雙向恒溫磁力攪拌器上63.7 °C水浴加熱攪拌，形成鉍系超導(dǎo)懸濁液；
2)將襯底放在勻膠機(jī)托盤上，啟動(dòng)真空栗，使襯底吸附在托盤上；
3)在勻膠機(jī)上旋涂鉍系高溫超導(dǎo)厚膜:
3-1)將配置好的鉍系超導(dǎo)懸濁液涂覆到襯底上，啟動(dòng)勻膠機(jī)，開始旋涂高溫超導(dǎo)厚膜；
3-2)將上述得到的高溫超導(dǎo)厚膜放在恒溫加熱板上，在空氣的環(huán)境里63.7°C>78.7°C加熱6?8min，然后放在高溫爐里，在510°0550°C加熱3~5min，得到第一層高溫超導(dǎo)厚膜；
3-3)將前一次制備得到的高溫超導(dǎo)厚膜作為襯底，重復(fù)步驟3-1)?3-2)，得到所需層數(shù)的高溫超導(dǎo)厚膜；
4)涂膜完畢后，開始熱解過(guò)程，熱解步驟如下:
4-1)將步驟3)中得到的高溫超導(dǎo)厚膜加熱，加熱溫度由40°C升溫至480°C，加熱時(shí)間50min；
4-2)在480°C 保溫 5h; 4-3)自然冷卻，使得上述的鉍系高溫超導(dǎo)厚膜實(shí)現(xiàn)從480°C降溫至40°C;
所述熱解過(guò)程在空氣環(huán)境中進(jìn)行；
5)將高溫爐調(diào)節(jié)到預(yù)燒結(jié)的步驟，預(yù)燒結(jié)的步驟如下:
5-1)升溫，從40°C升溫至850°C，用時(shí)2h;
5-2)在850°(:保溫1211;
5-3)自然冷卻，850°C冷卻至400C；
所述預(yù)燒結(jié)在純氧的環(huán)境中進(jìn)行；
6)將高溫爐調(diào)節(jié)到燒結(jié)的步驟，燒結(jié)的步驟如下:
6-1)把經(jīng)過(guò)步驟5)中預(yù)燒結(jié)后的鉍系高溫超導(dǎo)厚膜進(jìn)行加熱燒結(jié)，加熱溫度從40°C加熱到900°0930°C，加熱時(shí)間220?240min;
6-2 )在900 °0890 °C 保溫 45min ；
6-3)保溫后降溫，從900°0930°(:降溫到鉍系高溫超導(dǎo)厚膜的固相溫度，所述的固相溫度為840°0850°C;
6-4)在鉍系高溫超導(dǎo)厚膜的固相溫度保溫30h;
6-5)冷卻，固相溫度冷卻到40°C ；
所述步驟6-1)、6-2)、6-3)在純氧環(huán)境中進(jìn)行，所述步驟6-4)、6-5)在氧含量體積比為10%的氮氧氣氛中進(jìn)行。
[0017]進(jìn)一步的為更好的實(shí)現(xiàn)本發(fā)明，特別設(shè)置有下述步驟:所述步驟3)中的襯底選用藍(lán)寶石襯底，所述的勻膠機(jī)為KW-4A型勻膠機(jī)，所述的勻膠機(jī)通過(guò)真空管還連接有真空栗。
[0018]進(jìn)一步的為更好的實(shí)現(xiàn)本發(fā)明，特別設(shè)置有下述步驟:步驟3)中所述的勻膠機(jī)的設(shè)置為:一級(jí)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)為1000r/min，二級(jí)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)為2500?4500r/min，一級(jí)轉(zhuǎn)速保持的時(shí)間是6?8S，二級(jí)轉(zhuǎn)速保持的時(shí)間是20?40S。
[0019]進(jìn)一步的為更好的實(shí)現(xiàn)本發(fā)明，特別設(shè)置有下述步驟:所述步驟3)中的3-1)采用浸漬涂膜，或者噴霧熱解，或者絲網(wǎng)印刷工藝將懸濁液涂覆到襯底上，或者采用滴膠槍將配置好的鉍系超導(dǎo)懸濁液滴到襯底上。
[0020]進(jìn)一步的為更好的實(shí)現(xiàn)本發(fā)明，特別設(shè)置有下述步驟:所述的恒溫加熱板為ER系列數(shù)顯防腐型電熱恒溫?cái)?shù)顯加熱板。
[0021]進(jìn)一步的為更好的實(shí)現(xiàn)本發(fā)明，特別設(shè)置有下述步驟:所述步驟3)中涂膜層數(shù)是6?7層，而且每層膜的涂膜工藝都相同。
[0022]本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下優(yōu)點(diǎn)及有益效果:
本發(fā)明解決現(xiàn)有技術(shù)在進(jìn)行鉍系超導(dǎo)薄膜時(shí)存在成本高，不利實(shí)用化的弊端，設(shè)計(jì)出一種具有工藝簡(jiǎn)易、方便、低成本、高效益的鉍系超導(dǎo)厚膜制備方法，且采用該方法能夠制備出大面積鉍系超導(dǎo)薄膜。
[0023]本發(fā)明采用的是化學(xué)溶液的方法，只需將前驅(qū)粉體鉍系超導(dǎo)粉配置成化學(xué)溶液懸濁液，所用的實(shí)驗(yàn)器材有勻膠機(jī)、高溫爐、磁力攪拌器等，成本遠(yuǎn)比其它方法要低，而且易于大面積制備。對(duì)燒結(jié)過(guò)程中的燒結(jié)溫度、熱解溫度和氧分壓可以進(jìn)行嚴(yán)格的控制。
[0024]本發(fā)明采用化學(xué)溶液的方法，不僅可以使我們便捷的進(jìn)行實(shí)驗(yàn)，而且節(jié)省了大量的成本，易于制備大面積的超導(dǎo)厚膜，還有利于實(shí)現(xiàn)實(shí)用化和大規(guī)模生產(chǎn)。如果采用離子束輔助沉積、磁控濺射等一些方法，就大大增加了制備費(fèi)用，并且采用這些方法不利于實(shí)現(xiàn)大面積制備的指標(biāo)。
[0025]本發(fā)明采用化學(xué)溶液方法，設(shè)備結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、制備簡(jiǎn)便，可大大提高制備超導(dǎo)厚膜的效率，同時(shí)大大降低了實(shí)驗(yàn)成本;將此方法應(yīng)用在鉍系超導(dǎo)厚膜的制備當(dāng)中，可以制備出高性能的鉍系高溫超導(dǎo)厚膜。
【具體實(shí)施方式】
[0026]下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步地詳細(xì)說(shuō)明，但本發(fā)明的實(shí)施方式不限于此。
[0027]實(shí)施例1:
基于化學(xué)溶液法制備鉍系超導(dǎo)薄膜的方法，包括以下工藝步驟:
1)配置祕(mì)系超導(dǎo)懸池液，具體為:按照各成分比例為50?55g無(wú)水乙醇:2g~3g聚乙稀二醇:2.8g~3.2g司班:I Ig?14g祕(mì)系超導(dǎo)粉，將上述各成份混合后放在雙向恒溫磁力攪拌器上63.7 °C水浴加熱攪拌，形成鉍系超導(dǎo)懸濁液；
2)將襯底放在勻膠機(jī)托盤上，啟動(dòng)真空栗，使襯底吸附在托盤上；
3)在勻膠機(jī)上旋涂鉍系高溫超導(dǎo)厚膜:
3-1)將配置好的鉍系超導(dǎo)懸濁液涂覆到襯底上，啟動(dòng)勻膠機(jī)，開始旋涂高溫超導(dǎo)厚膜；3-2)將上述得到的高溫超導(dǎo)厚膜放在恒溫加熱板上，在空氣的環(huán)境里63.7°C>78.7°C加熱6?8min，然后放在高溫爐里，在510°0550°C加熱3~5min，得到第一層高溫超導(dǎo)厚膜；
3-3)將前一次制備得到的高溫超導(dǎo)厚膜作為襯底，重復(fù)步驟3-1)?3-2)，得到所需層數(shù)的高溫超導(dǎo)厚膜；
4)涂膜完畢后，開始熱解過(guò)程，熱解步驟如下:
4-1)將步驟3)中得到的高溫超導(dǎo)厚膜加熱，加熱溫度由40°C升溫至480°C，加熱時(shí)間50min；
4-2)在480°C 保溫 5h;
4-3)自然冷卻，使得上述的鉍系高溫超導(dǎo)厚膜實(shí)現(xiàn)從480°C降溫至40°C;
所述熱解過(guò)程在空氣環(huán)境中進(jìn)行；
5)將高溫爐調(diào)節(jié)到預(yù)燒結(jié)的步驟，預(yù)燒結(jié)的步驟如下:
5-1)升溫，從40°C升溫至850°C，用時(shí)2h;
5-2)在850°(:保溫1211;
5-3)自然冷卻，850°C冷卻至400C；
所述預(yù)燒結(jié)在純氧的環(huán)境中進(jìn)行；
6)將高溫爐調(diào)節(jié)到燒結(jié)的步驟，燒結(jié)的步驟如下:
6-1)把經(jīng)過(guò)步驟5)中預(yù)燒結(jié)后的鉍系高溫超導(dǎo)厚膜進(jìn)行加熱燒結(jié)，加熱溫度從40°C加熱到900°0930°C，加熱時(shí)間220?240min;
6-2 )在900 °0890 °C 保溫 45min ；
6-3)保溫后降溫，從900°0930°(:降溫到鉍系高溫超導(dǎo)厚膜的固相溫度，所述的固相溫度為840°0850°C;
6-4)在鉍系高溫超導(dǎo)厚膜的固相溫度保溫30h;
6-5)冷卻，固相溫度冷卻到40°C ；
所述步驟6-1)、6-2)、6-3)在純氧環(huán)境中進(jìn)行，所述步驟6-4)、6-5)在氧含量體積比為10%的氮氧氣氛中進(jìn)行。
[0028]實(shí)施例2:
本實(shí)施例是在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上進(jìn)一步優(yōu)化，進(jìn)一步的為更好的實(shí)現(xiàn)本發(fā)明，特別設(shè)置有下述步驟:所述步驟3)中的襯底選用藍(lán)寶石襯底，所述的勻膠機(jī)為KW-4A型勻膠機(jī)，所述的勻膠機(jī)通過(guò)真空管還連接有真空栗。
[0029]實(shí)施例3:
本實(shí)施例是在上述任一實(shí)施例的基礎(chǔ)上進(jìn)一步優(yōu)化，進(jìn)一步的為更好的實(shí)現(xiàn)本發(fā)明，特別設(shè)置有下述步驟:步驟3)中所述的勻膠機(jī)的設(shè)置為:一級(jí)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)為lOOOr/min，二級(jí)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)為2500?4500r/min，一級(jí)轉(zhuǎn)速保持的時(shí)間是6?8S，二級(jí)轉(zhuǎn)速保持的時(shí)間是20?40S。
[0030]實(shí)施例4:
本實(shí)施例是在上述任一實(shí)施例的基礎(chǔ)上進(jìn)一步優(yōu)化，進(jìn)一步的為更好的實(shí)現(xiàn)本發(fā)明，特別設(shè)置有下述步驟:所述步驟3)中的3-1)采用浸漬涂膜，或者噴霧熱解，或者絲網(wǎng)印刷工藝將懸濁液涂覆到襯底上，或者采用滴膠槍將配置好的鉍系超導(dǎo)懸濁液滴到襯底上。
[0031]實(shí)施例5:
本實(shí)施例是在上述任一實(shí)施例的基礎(chǔ)上進(jìn)一步優(yōu)化，進(jìn)一步的為更好的實(shí)現(xiàn)本發(fā)明，特別設(shè)置有下述步驟:所述的恒溫加熱板為ER系列數(shù)顯防腐型電熱恒溫?cái)?shù)顯加熱板。
[0032]實(shí)施例6:
本實(shí)施例是在上述任一實(shí)施例的基礎(chǔ)上進(jìn)一步優(yōu)化，進(jìn)一步的為更好的實(shí)現(xiàn)本發(fā)明，特別設(shè)置有下述步驟:所述步驟3)中涂膜層數(shù)是6?7層，而且每層膜的涂膜工藝都相同。
[0033]以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并非對(duì)本發(fā)明做任何形式上的限制，凡是依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化，均落入本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.基于化學(xué)溶液法制備鉍系超導(dǎo)薄膜的方法，其特征在于:包括以下工藝步驟: 1)配置祕(mì)系超導(dǎo)懸池液，具體為:按照各成分比例為50?55g無(wú)水乙醇:2g~3g聚乙稀二醇:2.8g~3.2g司班:I Ig?14g祕(mì)系超導(dǎo)粉，將上述各成份混合后放在雙向恒溫磁力攪拌器上63.7 °C水浴加熱攪拌，形成鉍系超導(dǎo)懸濁液； 2)將襯底放在勻膠機(jī)托盤上，啟動(dòng)真空栗，使襯底吸附在托盤上； 3)在勻膠機(jī)上旋涂鉍系高溫超導(dǎo)厚膜: 3-1)將配置好的鉍系超導(dǎo)懸濁液涂覆到襯底上，啟動(dòng)勻膠機(jī)，開始旋涂高溫超導(dǎo)厚膜； 3-2)將上述得到的高溫超導(dǎo)厚膜放在恒溫加熱板上，在空氣的環(huán)境里63.7°C>78.7°C加熱6?8min，然后放在高溫爐里，在510°0550°C加熱3~5min，得到第一層高溫超導(dǎo)厚膜； 3-3)將前一次制備得到的高溫超導(dǎo)厚膜作為襯底，重復(fù)步驟3-1)?3-2)，得到所需層數(shù)的高溫超導(dǎo)厚膜； 4)涂膜完畢后，開始熱解過(guò)程，熱解步驟如下: 4-1)將步驟3)中得到的高溫超導(dǎo)厚膜加熱，加熱溫度由40°C升溫至480°C，加熱時(shí)間50min； 4-2)在480°C 保溫 5h; 4-3)自然冷卻，使得上述的鉍系高溫超導(dǎo)厚膜實(shí)現(xiàn)從480°C降溫至40°C; 所述熱解過(guò)程在空氣環(huán)境中進(jìn)行； 5)將高溫爐調(diào)節(jié)到預(yù)燒結(jié)的步驟，預(yù)燒結(jié)的步驟如下: 5-1)升溫，從40°C升溫至850°C，用時(shí)2h; 5-2)在850°(:保溫1211; 5-3)自然冷卻，850°C冷卻至40 0C ； 所述預(yù)燒結(jié)在純氧的環(huán)境中進(jìn)行； 6)將高溫爐調(diào)節(jié)到燒結(jié)的步驟，燒結(jié)的步驟如下: 6-1)把經(jīng)過(guò)步驟5)中預(yù)燒結(jié)后的鉍系高溫超導(dǎo)厚膜進(jìn)行加熱燒結(jié)，加熱溫度從40°C加熱到900°0930°C，加熱時(shí)間220?240min;6-2 )在900 °C-890 °C 保溫 45min ； 6-3)保溫后降溫，從900t>93(TC降溫到鉍系高溫超導(dǎo)厚膜的固相溫度，所述的固相溫度為840°0850°C; 6-4)在鉍系高溫超導(dǎo)厚膜的固相溫度保溫30h; 6-5)冷卻，固相溫度冷卻到40°C ； 所述步驟6-1)、6-2)、6-3)在純氧環(huán)境中進(jìn)行，所述步驟6-4)、6-5)在氧含量體積比為10%的氮氧氣氛中進(jìn)行。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于化學(xué)溶液法制備鉍系超導(dǎo)薄膜的方法，其特征在于:所述步驟3)中的襯底選用藍(lán)寶石襯底，所述的勻膠機(jī)為KW-4A型勻膠機(jī)，所述的勻膠機(jī)通過(guò)真空管還連接有真空栗。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于化學(xué)溶液法制備鉍系超導(dǎo)薄膜的方法，其特征在于:步驟3)中所述的勻膠機(jī)的設(shè)置為:一級(jí)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)為1000r/min，二級(jí)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)為2500?4500r/min，一級(jí)轉(zhuǎn)速保持的時(shí)間是6?8S，二級(jí)轉(zhuǎn)速保持的時(shí)間是20?40S。4.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的基于化學(xué)溶液法制備鉍系超導(dǎo)薄膜的方法，其特征在于:所述步驟3)中的3-1)采用浸漬涂膜，或者噴霧熱解，或者絲網(wǎng)印刷工藝將懸濁液涂覆到襯底上，或者采用滴膠槍將配置好的鉍系超導(dǎo)懸濁液滴到襯底上。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基于化學(xué)溶液法制備鉍系超導(dǎo)薄膜的方法，其特征在于:所述的恒溫加熱板為ER系列數(shù)顯防腐型電熱恒溫?cái)?shù)顯加熱板。6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基于化學(xué)溶液法制備鉍系超導(dǎo)薄膜的方法，其特征在于:所述步驟3)中涂膜層數(shù)是6?7層，而且每層膜的涂膜工藝都相同。7.根據(jù)權(quán)利要求1_3，5，6任一項(xiàng)所述的基于化學(xué)溶液法制備鉍系超導(dǎo)薄膜的方法，其特征在于:所述步驟3)中涂膜層數(shù)是6?7層，而且每層膜的涂膜工藝都相同。
【文檔編號(hào)】H01B12/06GK105976939SQ201610291205
【公開日】2016年9月28日
【申請(qǐng)日】2016年5月5日
【發(fā)明人】李會(huì)玲
【申請(qǐng)人】成都君禾天成科技有限公司