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具有吹氣管的蝕刻裝置的制作方法

文檔序號:11863491閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種具有吹氣管的蝕刻裝置,其特征在于,包括蝕刻缸體、設(shè)置于所述蝕刻缸體上部的上噴淋管和設(shè)置于所述蝕刻缸體底部的下噴淋管,所述上噴淋管、下噴淋管之間設(shè)置有運輸滾輪,所述運輸滾輪上方設(shè)置有吹氣管。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有吹氣管的蝕刻裝置,其特征在于,所述上噴淋管和下噴淋管上均勻分布有朝向所述運輸滾輪的噴淋頭。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的具有吹氣管的蝕刻裝置,其特征在于,所述吹氣管管壁均勻分布有4個吹氣口,所述吹氣口分別位于所述吹氣管的水平和豎直方向。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的具有吹氣管的蝕刻裝置,其特征在于,所述吹氣管設(shè)置于所述上噴淋管的噴淋頭之間。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的具有吹氣管的蝕刻裝置,其特征在于,還包括驅(qū)動所述上噴淋管和下噴淋管水平擺動的驅(qū)動裝置。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的具有吹氣管的蝕刻裝置,其特征在于,所述吹氣管的吹氣壓強為0.3-0.8MPa。

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