技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，一種微機(jī)電系統(tǒng)MEMS換能器包括：附接到支撐結(jié)構(gòu)的可偏轉(zhuǎn)膜，被配置成促使可偏轉(zhuǎn)膜在第一模式中是透聲的并且在第二模式中是聲可見的聲閥結(jié)構(gòu)，以及耦合到可偏轉(zhuǎn)膜的致動(dòng)機(jī)構(gòu)。其他實(shí)施例包括對(duì)應(yīng)的系統(tǒng)和裝置，每一個(gè)都被配置成執(zhí)行各種實(shí)施例方法。

技術(shù)研發(fā)人員：A.德赫;C.格拉策;D.圖姆波爾德
受保護(hù)的技術(shù)使用者：英飛凌科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.10
技術(shù)公布日：2017.07.18