專利名稱：一種均溫拉晶爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種拉晶爐，具體地說是涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域的設(shè)備。
背景技術(shù)：
拉晶爐的結(jié)構(gòu)是這樣的，它是由多個(gè)帶孔的耐火磚疊放而成的，所述各個(gè)耐火磚的孔上下位置照應(yīng)的，在相鄰的耐火磚之間縫隙中具有電阻絲，使用時(shí)，拉晶管就放置在這個(gè)孔之間，這樣的拉晶爐具有使拉晶管受熱不均勻、晶棒產(chǎn)品質(zhì)量不高的缺點(diǎn)。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的就是針對(duì)上述缺點(diǎn)，提供一種能夠使拉晶管受熱更均勻、從而提高晶棒質(zhì)量的拉晶爐——一種均溫拉晶爐。本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的一種均溫拉晶爐，包括爐體，所述的爐體是由多個(gè)帶孔的耐火磚疊放而成的，所述各個(gè)耐火磚的孔上下位置照應(yīng)的，在相鄰的耐火磚之間縫隙中具有電阻絲，其特征是在所述的孔的內(nèi)圈還有一個(gè)鐵制的空心套體，所述的套體的上端和下端覆蓋著耐火磚。本實(shí)用新型的有益效果是這樣結(jié)構(gòu)的均溫拉晶爐具有能夠使拉晶管受熱更均勻、從而提高晶棒質(zhì)量的優(yōu)點(diǎn)。

圖1是本實(shí)用新型的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。其中1、爐體 2、耐火磚3、套體。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的描述。如圖1所示，一種均溫拉晶爐，包括爐體1，所述的爐體1是由多個(gè)帶孔的耐火磚 2疊放而成的，所述各個(gè)耐火磚2的孔上下位置照應(yīng)的，在相鄰的耐火磚之間縫隙中具有電阻絲，其特征是在所述的孔的內(nèi)圈還有一個(gè)鐵制的空心套體3，所述的套體3的上端和下端覆蓋著耐火磚。
權(quán)利要求1. 一種均溫拉晶爐，包括爐體，所述的爐體是由多個(gè)帶孔的耐火磚疊放而成的，所述各個(gè)耐火磚的孔上下位置照應(yīng)的，在相鄰的耐火磚之間縫隙中具有電阻絲，其特征是在所述的孔的內(nèi)圈還有一個(gè)鐵制的空心套體，所述的套體的上端和下端覆蓋著耐火磚。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種拉晶爐，具體地說是涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域的設(shè)備。一種均溫拉晶爐，它包括爐體，所述的爐體是由多個(gè)帶孔的耐火磚疊放而成的，所述各個(gè)耐火磚的孔上下位置照應(yīng)的，在相鄰的耐火磚之間縫隙中具有電阻絲，在所述的孔的內(nèi)圈還有一個(gè)鐵制的空心套體，所述的套體的上端和下端覆蓋著耐火磚，這樣結(jié)構(gòu)的均溫拉晶爐具有能夠使拉晶管受熱更均勻、從而提高晶棒質(zhì)量的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)C30B15/00GK202246988SQ201120285469
公開日2012年5月30日 申請(qǐng)日期2011年8月8日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月8日
發(fā)明者劉寶成 申請(qǐng)人:河南恒昌電子有限公司