技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及研磨用組合物及其制造方法以及磁研磨方法。本發(fā)明提供磁性顆粒不易發(fā)生氧化的研磨用組合物及磁研磨方法。研磨用組合物(1)含有磁性顆粒、用于抑制磁性顆粒的氧化的抗氧化劑、和水。對(duì)該研磨用組合物(1)施加磁場(chǎng)而形成含有磁性顆粒的磁粒簇(3)，使磁粒簇(3)接觸研磨對(duì)象物(5)而對(duì)研磨對(duì)象物(5)進(jìn)行研磨。

技術(shù)研發(fā)人員：玉田修一;森永均;菱田翔太;安井大祐
受保護(hù)的技術(shù)使用者：福吉米株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日：2017.04.01
技術(shù)公布日：2017.08.01