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一種高密閉性碲鎘汞氣相外延的石英套管的制作方法

文檔序號:12252077閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種高密閉性碲鎘汞氣相外延的石英套管,包括石英外管(1)、石英限位管(2)和石英內(nèi)管(3)和石英塞(4),其特征在于:

所述的石英外管(1)是一端封閉,一端開口的圓柱體結構,壁厚5mm;在封閉端底部有用來放置熱電偶的凹口;

所述的石英限位管(2)是圓柱體杯狀結構,壁厚4mm;

所述的石英內(nèi)管(3)是一端封閉,一端帶有椎度開口的圓柱體結構,壁厚3mm,開口椎度為10°,直徑小于60mm;

所述的石英塞(4)是有帶錐度圓柱體的中空的磨砂口塞子,椎度為10°,內(nèi)部中空部分為直徑40mm,長75mm;

所述石英限位管(2)放置在石英外管(1)內(nèi)部,靠近封閉端,石英內(nèi)管(3)亦放置在石英外管(1)內(nèi)部,靠近開口端,通過石英限位管(2)的長度控制石英內(nèi)管(3)在石英外管(1)內(nèi)的位置;所述的石英塞(4)與石英內(nèi)管(3)匹配,石英塞(4)內(nèi)部中空部分與帶彈簧的不銹鋼管(7)相連,便于在氣相外延過程中對石英內(nèi)管(3)進行密封和開啟。

2.根據(jù)權利要求1所述的高密閉性碲鎘汞氣相外延的石英套管,其特征在于:所述的石英外管(1)、石英限位管(2)和石英內(nèi)管(3)和石英塞(4)均采用99.99999%的高純石英制作。

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