1.一種液相生長(zhǎng)碳化硅的裝置，包括坩堝(1)和坩堝蓋(2)，坩堝蓋(2)上設(shè)有籽晶桿(3)，其特征在于：坩堝壁頂部設(shè)有至少一個(gè)凹槽(4)，坩堝蓋(2)上設(shè)有至少一個(gè)與凹槽(4)相適應(yīng)的凸起(5)，凹槽(4)和相應(yīng)凸起(5)之間形成曲折通道(6)；所述的坩堝(1)具有真空夾層(7)；所述的籽晶桿(3)為U字型空心管。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種液相生長(zhǎng)碳化硅的裝置，其特征在于：所述的籽晶桿(3)上部設(shè)有旋轉(zhuǎn)提升機(jī)構(gòu)(8)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種液相生長(zhǎng)碳化硅的裝置，其特征在于：所述的凹槽(4)內(nèi)設(shè)有密封柔性材料(9)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種液相生長(zhǎng)碳化硅的裝置，其特征在于：所述的凹槽(4)為3個(gè)，所述的凸起(5)為3個(gè)。